某项目国产化系统部件开发

一、LSR机箱定制开发
调焦调平机箱（以下简称LSR）为调焦调平分系统提供支撑，包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线VMEbus，符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。SYNC 通信速率10Mb/s，以太网通信速率1000Mbps。
二、IMCR机箱定制开发
曝光控制机箱（以下简称IMCR）为曝光系统提供支撑，包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线指标值VMEbus，符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。SYNC 通信速率10Mb/s，以太网通信速率1000Mbps
三、WHCR 机箱定制开发
晶圆传输机箱（以下简称WHCR）为晶圆传输系统提供支撑，包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线VMEbus符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。SYNC 通信速率10Mb/s，以太网通信速率1000Mbps
四、ROCR 机箱定制开发
OCR 机箱是工件台现场的信号采集板卡机箱，机箱内部包含ROCB 板卡、RODB 板卡、PIOB 板卡和背板。
五、WAAR机箱定制开发
晶圆对准机箱（以下简称WAAR）为晶圆对准系统提供支撑，包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线VMEbus符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。SYNC 通信速率10Mb/sPDBUS 32 位数据，10 位地址并行总线，含控制信号，通信速率5Gbps，以太网通信速率1000Mbps

联系人：李方华
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