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松山湖材料实验室半自动有机清洗设备采购项目
招标详情
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***********公司企业信息
****2024年10月至2024年12月政府采购意向-****半自动有机清洗设备采购项目 详细情况
| ****半自动有机清洗设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年10月至2024年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****半自动有机清洗设备采购项目 |
| 预算金额： | 400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
标的名称:半自动有机清洗设备采购项目 标的数量:1 主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中2、4、6、8寸晶圆的有机清洗，清洗晶圆表面和结构内部的亚微米杂质颗粒、刻蚀副产物和光刻胶残留等。 需满足的要求:"需满足的工艺技术指标： 1、样品尺寸：至少兼容2、4、6、8寸晶圆； 2、支持减薄片、翘曲片和镂空片的有机清洗工艺； 3、具备药液加热功能； 4、具有背洗功能； 5、配备有机药液柜，药液管路数量至少4路；"
|
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2024-10-30
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