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松山湖材料实验室化学机械抛光设备采购项目

广东 -东莞

发布时间： 2024年10月30日

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实验室抛光

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***********公司企业信息

****2024年10月至2024年12月政府采购意向-****化学机械抛光设备采购项目详细情况

****化学机械抛光设备采购项目
项目所在采购意向：	****2024年10月至2024年12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	****化学机械抛光设备采购项目
预算金额：	500.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	标的名称:化学机械抛光设备标的数量:1 主要功能或目标:主要为了满足半导体制程中垂直互联器件加工、3D工艺集成领域对介质、金属及半导体等材料的高精度材料抛光的需求，以便在先进垂直互联器件工艺领域内进行相关科学研究。需满足的要求:1）兼容4、6、8寸晶圆的抛光作业； 2）抛光头分区：8寸抛光头≥4 Zone ；6寸抛光头≥3 Zone；4寸抛光头≥2 Zone； 3）抛光处理后表面粗糙度Ra≤0.4nm（Si02薄膜）； 4）晶圆内部不均匀度≤4%（8英寸，去边5mm）； 5）多晶圆间不均匀度≤4%（8英寸，去边5mm）； 6）至少配有光学、摩擦学、电涡流三种终点检测方式。
预计采购时间：	2024-12
备注：