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松山湖材料实验室2024年10月至2024年12月政府采购意向
摘要信息
招标单位
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招标编号
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招标估价
3850000.00
招标联系人
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报名截止时间
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关键信息
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
公告信息
| ****2024年10月至2024年12月政府采购意向 | ||
| 2024-10-30 11:12:40 | ||
| 正常公告 | ||
| **** |
公告内容
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年10月至2024年12月采购意向公开如下：
| 1 | ****文献数据库服务采购项目 |
标的名称：文献数据库服务采购项目
标的数量：1
主要功能或目标：主要功能：文献数据库服务，其中包含：Nature系列、SpringerMaterials、SpringerLink部分专辑、Science Direct、Cell系列、Web of Science、APS等。目标服务****实验室科研人员，加强文献保障能力。
需满足的要求：需具有出版物进口经营许可证。所采购文献数据库需能够正常访问，平台检索性能强大，**品质齐全、及时更新，全文库数据库需可通过浏览器访问及保存下载，IP范围内无并发数限制，提供符合COUNTER 5标准的使用统计，提供免费培训、问题解决与维护、专人售后服务与技术支持等。
|
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 3,850,000.00 | 2024年11月 | |
| 2 | ****半自动有机清洗设备采购项目 |
标的名称：半自动有机清洗设备采购项目
标的数量：1
主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中2、4、6、8寸晶圆的有机清洗，清洗晶圆表面和结构内部的亚微米杂质颗粒、刻蚀副产物和光刻胶残留等。
需满足的要求："需满足的工艺技术指标： 1、样品尺寸：至少兼容2、4、6、8寸晶圆； 2、支持减薄片、翘曲片和镂空片的有机清洗工艺； 3、具备药液加热功能； 4、具有背洗功能； 5、配备有机药液柜，药液管路数量至少4路；"
|
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 4,000,000.00 | 2024年12月 | |
| 3 | ****化学机械抛光设备采购项目 |
标的名称：化学机械抛光设备
标的数量：1
主要功能或目标：主要为了满足半导体制程中垂直互联器件加工、3D工艺集成领域对介质、金属及半导体等材料的高精度材料抛光的需求，以便在先进垂直互联器件工艺领域内进行相关科学研究。
需满足的要求：1）兼容4、6、8寸晶圆的抛光作业； 2）抛光头分区：8寸抛光头≥4 Zone ；6寸抛光头≥3 Zone；4寸抛光头≥2 Zone； 3）抛光处理后表面粗糙度Ra≤0.4nm（Si02薄膜）； 4）晶圆内部不均匀度≤4%（8英寸，去边5mm）； 5）多晶圆间不均匀度≤4%（8英寸，去边5mm）； 6）至少配有光学、摩擦学、电涡流三种终点检测方式。
|
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 5,000,000.00 | 2024年12月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
****
2024年10月30日
招标进度跟踪
2024-10-30
招标预告
松山湖材料实验室2024年10月至2024年12月政府采购意向
当前信息
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