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垂直式电化学沉积设备
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8700000.00
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***********公司企业信息
****2024年11月至2024年12月政府采购意向-垂直式电化学沉积设备 详细情况
| 垂直式电化学沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11月至2024年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 垂直式电化学沉积设备 |
| 预算金额： | 870.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
标的名称:垂直式电化学沉积设备 标的数量:1 主要功能或目标:通过电化学原理，在晶圆表面形成一层或多层金属薄膜，最终满足半导体器件的电气连接、信号传输和散热等功能，实现金属化沉积工艺 需满足的要求:设备构成： 1）垂直紧凑型电镀工艺单元：每个电镀工艺单元容积不大于8L 2）转载机构将晶圆由水平翻转后，自动实现与晶圆加持器的对接，完成上下料及密封带的接触 设备性能需求： 1)应具备晶圆夹持系统：兼容150mm 200mm晶圆且可同时作业 2)工艺槽满足：配备在线式加热器，不使用外部加热器，控制精度应保证在±1℃内； 工艺要求： 1）导电密封规格满足：EE2.5mm EBR:1.4+/0
|
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-03-25
2025-02-06
2025-01-03
2025-01-02
2024-12-02
2024-11-01
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