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深圳大学 - 竞价公告（CB105902024001547）

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2024年11月06日

摘要信息

招标单位

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招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

招标详情

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2024-11-06 17:29:42 截止时间：2024-11-14 12:00:00标书代写

申购主题：光刻胶的旋涂与烘烤

报价要求：进口含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址： **省--**市--**区--********学院****中心/**市/**区/****

供应商资质：

备注说明：

送货时间： 12月

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算： 79200.0人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

匀胶旋涂仪	1.0/武****公司	69200.0	Laurell	WS-650Mz-23NPPB	1、系统概述 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； ▲1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220毫米； 2.2 Wafer芯片尺寸满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托； 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质； 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%； 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s； ▲4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%； 4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态； ★4.4 转速精度≤1RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准； 5、配套无油真空泵：真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)；	一年质保
加热板	2.0/武****公司	5000.0	AS ONE	NDK-1A-I	6、加热模块： 6.1 最高温度：350℃； 6.2 平板尺寸：170×170mm； 6.3 温度设定范围：室温+10～350℃； 6.4 温度控制方式：微机PID控制方式； 6.5 温度显示方式：LCD数字显示； 6.6 定时器功能：设定范围/1分～99时59分（1分钟单位）； 6.7 程序功能：步骤数/最大8步骤，重复次数／最大9999次；	一年质保