紫外接近接触式光刻机等设备采购采购更正公告（第一次）

1、招标文件“第二章 采购需求”中“附表一：紫外接近接触式光刻机”的以下内容：

“5.★分辨率：≤0.8mm（i线，光刻胶厚度1mm，真空接触，等间距图形）；分辨率：≤3.0mm（i线，光刻胶厚度1mm，20um曝光间隙，等间距图形）。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

更正为：

“5.★分辨率：≤0.8μm（i线，光刻胶厚度1μm，真空接触，等间距图形）；分辨率：≤3.0μm（i线，光刻胶厚度1μm，20um曝光间隙，等间距图形）。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

2、招标文件“第二章 采购需求”中“附表一：紫外接近接触式光刻机”的以下内容：

“13.★套刻精度：正面套刻精度±0.5mm；背面套刻精度：±1mm。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

更正为：

“13.★套刻精度：正面套刻精度±0.5μm；背面套刻精度：±1μm。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

3、招标文件“第二章 采购需求”中“附表二：磁控溅射镀膜系统”的以下内容：

“5.5主腔室和进样室之间配有气动隔断阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar l s-1，第一次维护前开启次数可达20万次。

5.6进样室与分子泵之间配有气动隔离阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar l s-1，第一次维护前开启次数可达20万次。”

更正为：

“5.5主腔室和进样室之间配有气动隔断阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar 1 s-1，第一次维护前开启次数可达20万次。

5.6进样室与分子泵之间配有气动隔离阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar 1 s-1，第一次维护前开启次数可达20万次。”

4.本项目采取线上投标方式，线上流程如下：电子标服务

（1****省政府采购网（http://www.****.cn/），从“政府采购供应商”****政府采购综合管理系统并找到项目采购电子交易系统菜单，点击进入系统进行投标。（供****政府采购网账号的需要提前注册，没有CA的需要提前办理，用以制作标书和开标时解密）标书代写

（2）供应商进入系统后，依次点击“项目电子交易→应标→项目投标”菜单，选择“未参与项目”选择要投标项目，点击进入项目详情页面。在投标项目详情页面，填写联系人、联系方式；若存在联合体投标，输入供应商名称关键字，查找并关联其他联合体供应商。信息确认无误后，点击“确认参与”完成参与并获取采购文件。标书代写

（3）供应商根据采购文件要求，使用投标客户端制作电子投标文件并上传完成网上投标。具体步骤详见智慧采购云平台项目电子交易系统资料下载的操作指南中的供应商指南。标书代写

5.****政府采购政策：

《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《****监狱企业发展有关问题的通知》（财库【2014】68号）、《关****政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）、《****政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号）、《****政府采购实施意见》的通知（财库〔2004〕185号）、《关于调整优化节能产品、****政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）、《****政府采购需求标准（试行）》（财办库〔2020〕123号）、《****政府采购需求标准（试行）》（财办库〔2020〕123号）等。