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西南交通大学激光直写光刻机采购
招标详情
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***********公司企业信息
****2024年11至12月政府采购意向-****激光直写光刻机采购 详细情况
| ****激光直写光刻机采购 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****激光直写光刻机采购 |
| 预算金额： | 105.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2100教学仪器
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| 采购需求概况 ： |
采购项目名称：****激光直写光刻机采购。采购数量：1套。主要功能：能够利用多种近紫外光刻胶制备任意微纳功能结构，例如掩模版、集成电路结构、芯片功能微结构、MEMS/NEMS等。 主要技术指标：可保证不小于100 mm × 100mm范围内准确曝光，最小基片尺寸5mm × 5mm；可光刻最小结构尺寸≤0.5um；具有对准套刻功能；对准精度接近或优于±0.5um；书写速度不低于100mm2/min@1um和200mm2/min@2 um； 其他要求：具有6英寸真空吸附工作台和X、Y、Z、J多轴精密运动系统。位置分辨率≤10 nm；X-Y移动范围不低于100mmX 100mm；具备自动对焦能力，Z轴调整精度≤10nm；支持256阶的3D灰度光刻；支持GDSII、BMP、STL等多种数据格式；设备带有整体**石基座，且自带高精密气浮隔振系统。
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| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-04-03
2025-02-27
2025-01-08
2024-11-13
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西南交通大学激光直写光刻机采购
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