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高真空电阻蒸发镀膜设备（XHGD-CG-2024354）采购公告

公告-招标公告

浙江 -杭州 -富阳区

发布时间： 2024年11月14日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

电阻蒸发镀膜设备

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空电阻蒸发镀膜设备	****
2024-11-14 09:28:37	2024-11-16 11:00:00
****	预付40%，到货后支付50%，验收合格后支付10%

	签约后90个自然日
￥400000.00




市区路68号**
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空电阻蒸发镀膜设备

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 400000.00

一、真空系统： 1. 复合分子泵抽速不低于1200 L/S，前级泵抽速不低于9L/S，需配备旁抽； 2. 真空极限：优于3.0×10-5 Pa； 3. 抽速：分子泵启动后，抽至5.0×10-4 Pa 时间小于15分钟； 4. 全量程数显复合真空计二、样品台： 1. 不锈钢腔室，腔室内体积不小于0.05 立方米，源基距不低于340mm； 2. 4个基片座，每个基片座对应四种可切换掩膜，不破真空情况下可以切换掩膜； 3. 样品台速度连续可调，要求磁流体密封；三、蒸发系统和膜厚监控： 1. 6 组蒸发源，其中 4 组舟式金属蒸发源，2 组束源炉式有机蒸发源，金属蒸发源需要水冷，采用陶瓷绝缘结构，有机蒸发源采用陶封法兰金属密封结构 2. 源间配隔板，每个蒸发源配独立挡板 3. 分别的金属用蒸发电源和有机源用蒸发电源，具备粗调微调功能； 4. 采用薄膜沉积控制仪在线控制蒸镀速率和膜厚，蒸镀速率可预先设定，膜厚仪速率和厚度分辨率±0.015埃，速率显示精度0.01埃/秒四、其他： 1. 高精度冷却循环水机，控温±0.1℃ 2. 静音气泵1台，额定压力0.7MPa，最大流量115L/min 3. 仪器控制方式为触控 4. 对分子泵、膜厚仪探头、磁流体、蒸发电极等缺水，过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护 5. 提供一块定制掩膜板，钨舟 10 个，有机源坩埚 5 个 6. 包含运输、安装调试和培训服务

质保期:一年;