深圳大学 - 竞价结果公告(CB105902024001547)

发布时间: 2024年11月14日
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**** - 竞价结果公告(****)
发布时间:2024-11-14 16:24:29
申购单号: ****
申购主题: 光刻胶的旋涂与烘烤
采购单位: ****
竞价开始时间: 2024-11-06 17:29:42
竞价截至时间: 2024-11-14 12:00:00
币种: 人民币
付款方式: 货到验收合格后付款
备注说明:
质疑说明: 如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额: 79000.0
送货时间: 12月
安装要求: 免费上门安装(含材料费)
收货地址:
采购项 品牌 单项预算 成交单价 质保及售后服务 技术参数 数量 型号 成交总价 成交供应商
匀胶旋涂仪 Laurell 69200.00 69100.00 一年质保 1、系统概述 1.1 智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全; 1.2 防腐装置; ▲1.3设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护; 1.4 通信接口,蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220毫米; 2.2 Wafer芯片尺寸满足10-150mm直径的材料,方片125x125mm,无需更换片托; 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质; 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm, 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec; 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%; 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ,精度不超过0.1s; ▲4.2配有高精度PLC可编程的控制器,设置点精度小于0.006%; 4.3 可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态; ★4.4 转速精度≤1RPM,具有国际NIST标准认证,并且无需再校准; 5、配套无油真空泵:真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱); 1.0**** WS-650Mz-23NPPB 69100.00 ****
加热板 AS ONE 5000.00 4950.00 一年质保 6、加热模块: 6.1 最高温度:350℃; 6.2 平板尺寸:170×170mm; 6.3 温度设定范围:室温+10~350℃; 6.4 温度控制方式:微机PID控制方式; 6.5 温度显示方式:LCD数字显示; 6.6 定时器功能:设定范围/1分~99时59分(1分钟单位); 6.7 程序功能:步骤数/最大8步骤,重复次数/最大9999次; 2.0**** NDK-1A-I 9900.00 ****
招标进度跟踪
2024-11-14
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