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磁控溅射系统（HITSZWJ240079）采购公告

公告-招标公告

黑龙江 -哈尔滨

发布时间： 2024年11月25日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

磁控溅射 IT

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

磁控溅射系统	****
2024-11-25 12:47:41	2024-11-28 14:00:00
**（）	合同签订后15个工作日内预付70%，设备到货验收合格后30%

	签约后90个工作日内
￥900000.00




**（）
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

磁控溅射系统

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

普迪真空

￥ 900000.00

1.镀膜室极限真空：≤8×10-6 Pa； 2.抽速：大气后抽气至 8×10-4 Pa≤30min； 3.系统漏率：≤2×10-8 Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考核）； 4.系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压12小时后真空度≤1 Pa; 5.基片加热：衬底最高加热温度800 ℃； 6.溅射尺寸：衬底基片最大6英寸，兼容4英寸、2英寸、Φ45mm、Φ30mm，以及小尺寸方形片。基片旋转速度：0～30 rpm连续可调； 7.溅射靶枪共4套，其中顶部垂直安装1套2 inch靶枪，3套3 inch靶枪倾斜安装，实现共焦溅射； 8.均匀性：6英寸基片镀膜区均匀性优于±5%； 9.气体流量控制：3路进气，氩气氧气氮气分别为200/50/50 sccm。

附件下载:标书代写网上竞价需求书_磁控溅射.doc

附件下载:标书代写采购联系方式.docx

附件（2）