机械工程学院三轴激光干涉测距仪采购项目单一来源采购前信息公示

一、项目信息

采购人：****

项目名称：三轴激光干涉测距仪采购

预算金额：25万元

拟采购项目概况：项目拟采购的干涉仪用于米级位移的纳米精度测量，主要用于面向光刻机对准平面磁浮定位平台、光学测量扫描平台的平面位置测量。由于平台采用并联方式，传统长程光栅尺等无法进行平面位置的测量，必须采用激光干涉方式获得测量数据并进行反馈。该平台所需达到的技术指标如下：

1）量程30m；

2）测量分辨率1pm；

3）重复度2nm；

4）最大测量速度2m/s；

5）测量带宽10MHz。

二、采用单一来源采购方式的原因及说明

前期已采购一台德国Attocube公司IDS3010型号的激光干涉仪，长期处于满负荷运行状态，导致项目推进受阻，亟需增购一台。该设备具有小型化特征，同时在30m量程内科获得1pm的测量分辨率和2nm的重复精度，指标极为先进，能够满足项目需要，本次采购是在原来基础上的同型号续购，不仅有利于设备维护，同时也能更好地开展科研和实验工作。因此，本项目建议仍然选择****代理的德国Attocube公司IDS3010设备。

三、拟定供应商信息

制造商：Attocube

代理商（如果有）：****

公司地址：中国（**）自由贸易试验区张衡路500弄1号7层706室

四、公示期限

2024年11月25日至2024年11月28日，共计3个工作日

五、其他补充事宜

无

六、联系方式

1.采购人

联 系 人：徐**

联系地址：**市**区孝陵卫街200号****

联系电话：185****9247

2.采购科

联 系 人：刘老师

联系地址：****致远楼119室

联系电话：025-****5015

七、附件

单一来源采购专家论证意见表（格式见附件）

单一来源采购专家论证意见表-1.jpg

单一来源采购专家论证意见表-2.jpg