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HKUSTGZ-24-G00192 科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目更正公告

变更-信息变更

广东 -广州

发布时间： 2024年11月27日

摘要信息

招标单位

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招标估价

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招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

招标详情

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一、项目基本情况

1、首次公告日期：2024年11月19日

2、项目编号：****

3、项目名称：科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目

二、更正（澄清）内容

（一）原采购文件《第四部分采购需求》“二、技术参数要求”更正如下：标书代写

1、产品4 电容耦合等离子体刻蚀机“4.5 低频射频电源：频率：13.56MHz”，更正为“4.5 低频射频电源：频率≤13.56MHz”。

2、产品4 电容耦合等离子体刻蚀机“4.26 配置清单要求：（2）电感耦合等离子体刻蚀工艺腔，1套”，更正为“4.26 配置清单要求：（2）电容耦合等离子体刻蚀工艺腔，1套”。

3、产品6 高温等离子去胶机“6.26 配置清单要求：（1）工艺腔室，2个；（4）真空系统，2套；（5）气体系统，2套”，更正为“6.26 配置清单要求：（1）工艺腔室，1个；（4）真空系统，1套；（5）气体系统，1套”。

4、产品7 低温等离子去胶机“7.26 配置清单要求：（1）工艺腔室，2个；（4）真空系统，2套；（5）气体系统，2套”，更正为“7.26 配置清单要求：（1）工艺腔室，1个；（4）真空系统，1套；（5）气体系统，1套”。

（二）采购文件、采购公告如有相关规定，按照上述变更要求执行，其他内容不变。标书代写

三、凡对本次公告内容提出询问的，请按以下方式联系

联系人：林老师

联系电话：020-****1577

联系地址：**省**市**区笃学路1号

****（**）采购处

2024年11月27日

标书代写

招标进度跟踪

2024-12-10

中标通知

HKUSTGZ-24-G00192 科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目成交公告

2024-11-27

信息变更

HKUSTGZ-24-G00192 科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目更正公告

当前信息

2024-11-19

招标公告

HKUSTGZ-24-G00192 科研用干法刻蚀机及去胶机采购项目采购公告

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