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| 探针台 | 华芯测试 | 24980.00 | 终身质保 | 1.探针台体 ●样品台尺寸:4寸卡盘,样品台电学独立悬空,可接背电极 ●样品固定方式:真空吸附,配置3个真空开关,可根据样品尺寸选择开关单独控制 ●样品台X-Y轴行程:75*50mm,精度5微米 ●样品台旋转:可360°旋转,粗调快速旋转带锁死,微调0.1° ●显微镜固定方式:万向旋转式结构,可快速移动,便于样品定位 ●尺寸:400*370*750 ●重量:约45kg ●PS:可升级高温卡盘 2. 单筒显微镜 HA-500 3.探针座 ●三维调节探针座 ●磁力固定,开关控制 ●XYZ移动行程均为12mm ●移动精度为2um ●带倾仰夹具,可快速调节竖直角度30° 4.同轴管状夹具 HJ-20 5.工业相机高清2100万 6.探针 ●国产探针系列 ●针杆长度38mm,直径0.5mm ●可测电流范围10fA~1A ●针尖直径1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um/200um ●针长38mm ●钨探针,一盒10支 7.微型真空吸附泵VP-1000 | 1.0套 | HY-4 | 24980.00 | **** |