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【结果公示】 大连理工大学变晶格材料纳米压印加工采购结果公示（项目编号DUTCHT-2404347）
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【结果公示】 ****变晶格材料纳米压印加工采购结果公示（项目编号：****）
发布时间：2024-12-02 1.项目名称：变晶格材料纳米压印加工
2.项目编号：****
3.成交单位：****
4.成交金额:690000.0CNY
5.公 示 期:2024年12月03日 至2024年12月05日
6.联系方式：
****中心 邮箱：cgzbdlut@dlut.****.cn
7.采购清单：
| 序号 | 产品名称 | 服务内容 | 数 量 | 单价(元) | 金额（元） |
| 1 | 样品图案剥离 | 每完成一次纳米压印结构，进行一次样品图案剥离，共计800次。 | 800.0 | 50.0 | 40000.0 |
| 2 | 硅片样品酸洗 | 样品图案剥离后，进行一次酸洗，共计800次。 | 800.0 | 75.0 | 60000.0 |
| 3 | 纳米压印 | 在8寸晶圆上，通过纳米压印完成多层结构加工，加工数量为200片，每片晶圆包含4层材料，共计加工800次。 | 800.0 | 300.0 | 240000.0 |
| 4 | 模板加工 | 依照图纸要求，完成8寸钨加热板模板、变晶格材料模板、通电电路模板及微波结构模板，共计4个模板的加工，其中变晶格材料模板、通电电路模板及微波结构模板对位要求为±2um | 4.0 | 87500.0 | 350000.0 |
****
2024年12月02日
招标进度跟踪
2024-12-02
中标通知
【结果公示】 大连理工大学变晶格材料纳米压印加工采购结果公示（项目编号DUTCHT-2404347）
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