衬底表面残余应力测量系统（2024CGZXWSJJ0257）采购公告

项目名称

衬底表面残余应力测量系统

项目编号

****

公告开始日期

2024-12-04 14:45:36

公告截止日期

2024-12-09 15:00:00

采购单位

****

付款方式

其他

联系人

成交后在我参与的项目中查看

联系电话

成交后在我参与的项目中查看

签约时间要求

成交后3个工作日内

到货时间要求

签约后120个工作日内

预算总价

￥ 198000.00

发票要求

收货地址

****(**校区)

供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

售后服务承诺函 (必选) ; 其他 (可选)

采购商品

采购数量

计量单位

所属分类

衬底表面残余应力测量系统

1

台

应变及振动测试仪器

品牌1

**中天海泓

型号

品牌2

**巴沃

型号

品牌3

艾特蒙特

型号

预算单价

￥ 198000.00

技术参数及配置要求

设备功能：基于偏振显微方法，配置透反射测量模式，实现半导体衬底表面残余应力无损、全场测量，单点测量时间约100 ms，还可用于测试和分析薄膜、半导体器件内部或结构表面应力状态。
a)系统框架：系统主体采用多轴笼式结构标准件搭建，系统结构相对稳定，部分光学元件需具备旋转调节或快拆更换功能；
b)2个系统光源DJ532-10 系列：532 nm半导体激光光源，功率≥8 mW；
c)2套光源驱动LTC56A/M 系列、LDMXY等：半导体激光管驱动套件，包含激光二极管安装座、准直光学元件及配件。套件里面还有电流控制器、温度控制器、激光二极管安装座以及相关配件；
d)2个偏振器GT10-A系列：适用波段400 nm-700 nm，消光比≥100000:1，通光孔径≥10mm；
e)2个相位延迟片：消色差四分之一波片，带1英寸外壳，波段400 - 800 nm；
f)2套电动旋转器件DDR25/M、KCH301 系列等：兼容同轴笼式系统，最高转速≥1500°/S；
g)2套K-Cube无刷直流伺服驱动器：前面板的速度轮和数字显示器，用于控制电动位移台或驱动器，两个SMC双向触发端口，用于读取或控制外部设备，使用附带的USB线连接计算机，完全兼容Kinesis软件包。
h)系统图像采集单元：彩色偏振相机，500万像素，像元尺寸3.45 μm，帧频；
i)相机电源规格：12V/1.5A。
测量输出项目：样品图、应力分布图

售后服务

1.邮寄到指定地点；2.后续耗材采购渠道畅通；3.系统器件质保一年。;