碳化硅衬底表面缺陷测量系统（2024CGZXWSJJ0255）采购公告

项目名称

碳化硅衬底表面缺陷测量系统

项目编号

****

公告开始日期

2024-12-04 14:43:59

公告截止日期

2024-12-09 15:00:00

采购单位

****

付款方式

其他

联系人

成交后在我参与的项目中查看

联系电话

成交后在我参与的项目中查看

签约时间要求

成交后3个工作日内

到货时间要求

签约后120个工作日内

预算总价

￥ 196000.00

发票要求

收货地址

****(**校区)

供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

售后服务承诺函 (必选) ; 其他 (可选)

采购商品

采购数量

计量单位

所属分类

碳化硅衬底表面缺陷测量系统

1

套

光电测量仪器

品牌1

**锐光凯奇

型号

品牌2

**芯明天

型号

品牌3

索雷博光电

型号

预算单价

￥ 196000.00

技术参数及配置要求

设备功能：基于linnik光路结构白光干涉显微方法，配置多种照明方式，实现碳化硅衬底表面形貌和表面缺陷无损、全场测量，还可用于蓝宝石、金刚石等衬底材料。
（1）系统结构框架：多轴笼式结构框架、转接件等多个，系统相对稳定、集成度高，部分光路光学元件需具备切换拆卸功能；
（2）系统照明模式：双光源照明模式，可实现切换照明和同时照明功能；
（3）半复消色差物镜，数量2个，性能要求：
物镜适用范围：透射明场、透射暗场、偏光成像、荧光成像；
光学放大倍率： ≥20 ×；
数值孔径： ≥0.4；
工作距离： ≥2 mm；
（4）准直透镜#33-016，数量：4个；
（5）系统光源SL073-WHI-IC：连续输出白光，寿命≥40000小时，工作电源24V；
（6）二维平移台：X、Y轴行程≥100 mm；
（7）Z轴扫描台：闭环，行程≥300 μm，分辨率≤15nm；
（8）Tubelens：放大率1×，适用于亮场、DIC、荧光或偏光显微成像，400 - 700nm波段 超过 90% 的透射率；
（9）系统安装平台：自平衡，主动隔绝外界振动对系统的影响；
（10）工控机、显示屏1套，因特尔i9处理器，128G内存，2T固态，*显卡；
（11）测量输出项目：表面图像、linnik白光干涉图；

售后服务

商品承诺:原厂全新未拆封正品;1.邮寄到指定地点；2.后续耗材采购渠道畅通；3.系统器件质保一年;