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西南大学 - 竞价公告（CM106352024000188）

公告-招标公告

重庆 -重庆

发布时间： 2024年12月05日

摘要信息

招标单位

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2024-12-05 13:16:32 截止时间：2024-12-08 13:25:15标书代写

申购主题：原子层沉积系统

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址： **市/市辖区/**区/****

供应商资质：提供3年的质保年限

备注说明：各竞标商须知：1.所有货物要求免费送货上门、免费安装调试、原厂包装，竞标商如不能提供免费送货上门和免费安装调试，必须注明，申购用户认可的，方可成交。2.成交金额在5万元以上的，供方应在质量验收合格后，需方支付货款前，成交厂商向需方交纳成交总金额的5%作为质保金。质保金自货物质量验收合格之日起一年内若无遗留问题，需方将其质保金全额无息退还供方。3.开户名称： **** 银行账号： 310********24968877 开户银行：工行****支行统一社会信用代码： 121********401733W 银行行号： 102****00474；质保金退还事宜联系电话：****4566；4.如竞标货物为进口的，必须填写品牌、型号、厂家、产地，并在报价说明里面填写报价方式为DDP/DAP等，如不填写报价方式的则默认为DDP报价。5.合同模板请见：http://sysbc.****.cn/s/sbc/sbjjjgl/****1011/****989.html;6.请最后成交供应商必须提供增值税专用发票。

送货时间：合同签订后30天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算： 350000.0人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

原子层沉积系统	1.0/套	350000.0	普迪	ALD-T100G	[{"key":"1","value":"一、设备组成和基本要求\n1、外热式反应腔体（对标Vecco S100）\n2、样品尺寸：可放置100mm100mm方片及以下尺寸\n3、3 路前驱体源系统（包括2路金属源和1路水源）\n4、高性能真空系统和残余前驱体源处理热阱\n5、自动控制沉积系统和工艺压力实时检测显示\n二、技术指标：\n1、ALD反应腔体结构\na.腔室：外热式单腔腔室，加热结构在真空室外，反应腔室维护保养无需拆卸腔室加热器或样品台加热器；\nb.样品台配有可拆卸片托，可放下最大100mm100mm方片及以下尺寸；\nc.反应温度：最高150℃,温度控制精度±1℃。\n2、ALD前驱体源系统\na．2路标准加热前驱体源，配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10 ms）、手动隔膜阀和50 mL不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度室温至200 ℃,控制精度±1℃;\nb.1 路水源，配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10 ms）、手动球阀和50 mL不锈钢源瓶；\nc.含两路载气系统，全套管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能；\n3、ALD真空系统\na．高性能真空系统，整机极限真空＜5×10-3Torr，真空漏率＜5×10-7Pa﹒L/s；\nb．配置机械泵，额定抽速≥40 m3/h；\nc.真空泵前级配置热阱，加热温度最高600℃, 控制精度±1℃,用于吸附、分解未反应的前驱体源；\nd.压力传感器（真空计）,真空计前设有保护真空计的高效过滤网，沉积过程中可以实时监测显示腔室压力的变化。\n4、ALD主机：\na. 高精度PLC+4U工控机+显示器沉积自动控制系统，满足原子层沉积工艺的要求；\nb.可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；\nc.多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；\nd.沉积模式：连续模式、停流模式；\ne.人机界面：外置移动支架显示器操作。\n5、ALD工艺指标\na. 在 4 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积300cycle氧化铝，以晶圆上至少9 个均匀分散点（去边5mm）进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1%为合格；\nb. 在 4 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积300cycle氧化锡，以晶圆上至少9 个均匀分散点（去边5mm）进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±2%为合格。\n配置与规格：\n1、吹扫流量计：2路N2吹扫质量流量计，流量计控制精度为满量程的1%；\n2、控制硬件：PLC+4U工控机+显示器操作，具有压缩空气欠压报警功能可防止失压导致的\nCVD反应引起系统严重污染以及防温度失控硬件保护功能，保障ALD仪器运行的安全性；\n3、自动控制软件：可以用软件在计算机上设定薄膜沉积条件及工艺参数，能全自动运行，\n并可以显示系统运行中的各个参数；控制设备的各个单元包括真空泵、加热温度、气体流量、\n沉积压强以及配方参数运行状态等；控制软件能够记录阀门开关次数和累计运行次数；\n4、电源：50-60Hz，功率12KW，380VAC交流电源；\n5、1年免费质保期，自验收之日起计算。提供完善的技术支持与售后服务，在接到买方报修\n通知后2小时内给予答复，4小时内能够到达现场提供服务。保修期外的维修不收人工费，更换部件只收成本费。\n本项目报价为包干价格，签订合同后30日内供货，质保年限最低为1年，学校进行数量验收，达到要求后供货方支付25%履约保证金，需方支付100%合同金额，待验收完成后支付20%履约保证金，余下5%为质保金，1年后无遗留问题支付。需方不组织统一现场踏勘，请各供应商自行前往现场踏勘并充分了解项目情况、运输道路、安装空间及环境、装卸限制及任何其它足以影响报价的情况，任何因忽视或误解项目情况而导致的索赔或交货期**申请将不获批准。无论供应商是否踏勘过现场，均被认为在递交投标文件之前已经踏勘现场，对本合同项目的风险和义务已经十分了解，并在其投标文件中已充分考虑了现场和环境条件。供应商需自行负责在踏勘现场中所发生的人员伤亡和财产损失，现场踏勘所发生的费用由供应商承担\n\n","important":true}]标书代写	按行业标准提供服务
原子层沉积系统	1.0/套	350000.0	**聚盛	JS-200	[{"key":"1","value":"一、设备组成和基本要求\n1、外热式反应腔体（对标Vecco S100）\n2、样品尺寸：可放置100mm100mm方片及以下尺寸\n3、3 路前驱体源系统（包括2路金属源和1路水源）\n4、高性能真空系统和残余前驱体源处理热阱\n5、自动控制沉积系统和工艺压力实时检测显示\n二、技术指标：\n1、ALD反应腔体结构\na.腔室：外热式单腔腔室，加热结构在真空室外，反应腔室维护保养无需拆卸腔室加热器或样品台加热器；\nb.样品台配有可拆卸片托，可放下最大100mm100mm方片及以下尺寸；\nc.反应温度：最高150℃,温度控制精度±1℃。\n2、ALD前驱体源系统\na．2路标准加热前驱体源，配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10 ms）、手动隔膜阀和50 mL不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度室温至200 ℃,控制精度±1℃;\nb.1 路水源，配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10 ms）、手动球阀和50 mL不锈钢源瓶；\nc.含两路载气系统，全套管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能；\n3、ALD真空系统\na．高性能真空系统，整机极限真空＜5×10-3Torr，真空漏率＜5×10-7Pa﹒L/s；\nb．配置机械泵，额定抽速≥40 m3/h；\nc.真空泵前级配置热阱，加热温度最高600℃, 控制精度±1℃,用于吸附、分解未反应的前驱体源；\nd.压力传感器（真空计）,真空计前设有保护真空计的高效过滤网，沉积过程中可以实时监测显示腔室压力的变化。\n4、ALD主机：\na. 高精度PLC+4U工控机+显示器沉积自动控制系统，满足原子层沉积工艺的要求；\nb.可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；\nc.多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；\nd.沉积模式：连续模式、停流模式；\ne.人机界面：外置移动支架显示器操作。\n5、ALD工艺指标\na. 在 4 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积300cycle氧化铝，以晶圆上至少9 个均匀分散点（去边5mm）进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1%为合格；\nb. 在 4 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积300cycle氧化锡，以晶圆上至少9 个均匀分散点（去边5mm）进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±2%为合格。\n配置与规格：\n1、吹扫流量计：2路N2吹扫质量流量计，流量计控制精度为满量程的1%；\n2、控制硬件：PLC+4U工控机+显示器操作，具有压缩空气欠压报警功能可防止失压导致的\nCVD反应引起系统严重污染以及防温度失控硬件保护功能，保障ALD仪器运行的安全性；\n3、自动控制软件：可以用软件在计算机上设定薄膜沉积条件及工艺参数，能全自动运行，\n并可以显示系统运行中的各个参数；控制设备的各个单元包括真空泵、加热温度、气体流量、\n沉积压强以及配方参数运行状态等；控制软件能够记录阀门开关次数和累计运行次数；\n4、电源：50-60Hz，功率12KW，380VAC交流电源；\n5、1年免费质保期，自验收之日起计算。提供完善的技术支持与售后服务，在接到买方报修\n通知后2小时内给予答复，4小时内能够到达现场提供服务。保修期外的维修不收人工费，更换部件只收成本费。\n本项目报价为包干价格，签订合同后30日内供货，质保年限最低为1年，学校进行数量验收，达到要求后供货方支付25%履约保证金，需方支付100%合同金额，待验收完成后支付20%履约保证金，余下5%为质保金，1年后无遗留问题支付。需方不组织统一现场踏勘，请各供应商自行前往现场踏勘并充分了解项目情况、运输道路、安装空间及环境、装卸限制及任何其它足以影响报价的情况，任何因忽视或误解项目情况而导致的索赔或交货期**申请将不获批准。无论供应商是否踏勘过现场，均被认为在递交投标文件之前已经踏勘现场，对本合同项目的风险和义务已经十分了解，并在其投标文件中已充分考虑了现场和环境条件。供应商需自行负责在踏勘现场中所发生的人员伤亡和财产损失，现场踏勘所发生的费用由供应商承担\n\n","important":true}]标书代写	按行业标准提供服务
原子层沉积系统	1.0/套	350000.0	科民电子	tald-150d2	[{"key":"1","value":"一、设备组成和基本要求\n1、外热式反应腔体（对标Vecco S100）\n2、样品尺寸：可放置100mm100mm方片及以下尺寸\n3、3 路前驱体源系统（包括2路金属源和1路水源）\n4、高性能真空系统和残余前驱体源处理热阱\n5、自动控制沉积系统和工艺压力实时检测显示\n二、技术指标：\n1、ALD反应腔体结构\na.腔室：外热式单腔腔室，加热结构在真空室外，反应腔室维护保养无需拆卸腔室加热器或样品台加热器；\nb.样品台配有可拆卸片托，可放下最大100mm100mm方片及以下尺寸；\nc.反应温度：最高150℃,温度控制精度±1℃。\n2、ALD前驱体源系统\na．2路标准加热前驱体源，配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10 ms）、手动隔膜阀和50 mL不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度室温至200 ℃,控制精度±1℃;\nb.1 路水源，配置Swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10 ms）、手动球阀和50 mL不锈钢源瓶；\nc.含两路载气系统，全套管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能；\n3、ALD真空系统\na．高性能真空系统，整机极限真空＜5×10-3Torr，真空漏率＜5×10-7Pa﹒L/s；\nb．配置机械泵，额定抽速≥40 m3/h；\nc.真空泵前级配置热阱，加热温度最高600℃, 控制精度±1℃,用于吸附、分解未反应的前驱体源；\nd.压力传感器（真空计）,真空计前设有保护真空计的高效过滤网，沉积过程中可以实时监测显示腔室压力的变化。\n4、ALD主机：\na. 高精度PLC+4U工控机+显示器沉积自动控制系统，满足原子层沉积工艺的要求；\nb.可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；\nc.多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；\nd.沉积模式：连续模式、停流模式；\ne.人机界面：外置移动支架显示器操作。\n5、ALD工艺指标\na. 在 4 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积300cycle氧化铝，以晶圆上至少9 个均匀分散点（去边5mm）进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1%为合格；\nb. 在 4 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积300cycle氧化锡，以晶圆上至少9 个均匀分散点（去边5mm）进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±2%为合格。\n配置与规格：\n1、吹扫流量计：2路N2吹扫质量流量计，流量计控制精度为满量程的1%；\n2、控制硬件：PLC+4U工控机+显示器操作，具有压缩空气欠压报警功能可防止失压导致的\nCVD反应引起系统严重污染以及防温度失控硬件保护功能，保障ALD仪器运行的安全性；\n3、自动控制软件：可以用软件在计算机上设定薄膜沉积条件及工艺参数，能全自动运行，\n并可以显示系统运行中的各个参数；控制设备的各个单元包括真空泵、加热温度、气体流量、\n沉积压强以及配方参数运行状态等；控制软件能够记录阀门开关次数和累计运行次数；\n4、电源：50-60Hz，功率12KW，380VAC交流电源；\n5、1年免费质保期，自验收之日起计算。提供完善的技术支持与售后服务，在接到买方报修\n通知后2小时内给予答复，4小时内能够到达现场提供服务。保修期外的维修不收人工费，更换部件只收成本费。\n本项目报价为包干价格，签订合同后30日内供货，质保年限最低为1年，学校进行数量验收，达到要求后供货方支付25%履约保证金，需方支付100%合同金额，待验收完成后支付20%履约保证金，余下5%为质保金，1年后无遗留问题支付。需方不组织统一现场踏勘，请各供应商自行前往现场踏勘并充分了解项目情况、运输道路、安装空间及环境、装卸限制及任何其它足以影响报价的情况，任何因忽视或误解项目情况而导致的索赔或交货期**申请将不获批准。无论供应商是否踏勘过现场，均被认为在递交投标文件之前已经踏勘现场，对本合同项目的风险和义务已经十分了解，并在其投标文件中已充分考虑了现场和环境条件。供应商需自行负责在踏勘现场中所发生的人员伤亡和财产损失，现场踏勘所发生的费用由供应商承担\n\n","important":true}]标书代写	按行业标准提供服务