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柔性衬底镀膜仪和阻抗分析仪（清采比选20241976号）采购公告

公告-招标公告

北京 -北京

发布时间： 2024年12月06日

摘要信息

招标单位

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代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

分析仪

招标详情

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***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

柔性衬底镀膜仪和阻抗分析仪	****
2024-12-06 08:37:19	2024-12-09 09:00:00
****	合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10%

	签订合同后30个工作日内
￥ 498000.00




市区中关村环保园58号院3号楼
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单index

采购商品采购数量计量单位所属分类

柔性衬底镀膜仪和阻抗分析仪

套

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

Diener

￥ 498000.00

1 柔性沉底镀膜仪 1.1 整机尺寸≤W700×D500×H700 mm3； 1.2 沉积室直径200 mm，深度200 mm，转盘直径160 mm，高度160 mm，配置≥3层； 1.3 可沉积Parylene N、C、D、F-VT4、F-AT4型单体粉； 1.4 集成硅烷蒸发模块，压力与温度PID控制，实现Parylene涂层前硅烷沉积功能； 1.5 自动调整蒸发速度，镀层厚度控制在75 μm ～ 200 μm之间； 1.6 蒸发器温度实时显示设定范围：室温~200 ℃； 1.7 裂解舱温度实时显示设定温度范围：室温~750 ℃； 1.8 沉积室温度实时显示设定范围：室温~200 ℃； 1.9 可设定蒸发器压力最大偏差、门温度最大偏差、裂解管温度最大偏差、压力传感器温度最大偏差、腔体温度最大偏差、硅烷蒸发器温度最大偏差、硅烷管路1温度最大偏差值；具备转盘位置错误报警、真空泵保养周期报警提示；具备详细的报警描述，方便判断报； 1.10 冷阱具有液氮和冷阱头两种方式； 1.11 冷阱头冷却方式为风冷，最低温度低于-100 ℃； 1.12 双级油式旋片泵，极限真空泵小于<0.1 Pa，噪音不超过52 bB； 1.13 真空泵抽速≥11 m3/h； 1.14 配有慢速抽气模块，可以设定慢速抽真空的时间，配有Pirani真空计，检测沉积室的真空压力值和真空泵的真空压力值； 1.15 Windows人机交互操软件，多种语言（含中文），多级系统权限管理； 1.16 可以存储≥50套工艺参数，具有工作参数和工艺数据储存功能、工艺参数追溯功能、数据导入导出功能、一键回复原厂设置、数据备份与还原功能；具有检测真空腔体泄漏率功能。 2 阻抗分析仪 2.1 阻抗系统测试频率覆盖1 mHz～200 KHz； 2.2 测量量程覆盖100 mΩ～100 MΩ 2.3 测量速度≤2 ms； 2.4 基本误差≤±0.05%； 2.5 基本精度：Z : ±0.05%rdg；θ: ±0.03°。

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