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等离子体表面处理机（清采比选20241978号）延期公告

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北京 -北京

发布时间： 2024年12月09日

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等离子表面处理机

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

等离子体表面处理机	****
2024-12-06 08:39:30	2024-12-12 10:00:00
****	合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10%

	签订合同后30个工作日内
￥ 410000.00




市区中关村环保园58号院3号楼
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单index

采购商品采购数量计量单位所属分类

等离子体表面处理机

套

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

Plasma Etch

PE100

￥ 410000.00

1 6061铝合金材质无缝焊接的真空腔体，真空室不小于12"W × 14"D × 12"H； 2 射频发电机+匹配变压器，300 W @ 100～460 KHz； 3 发生器误差小于设定值±2%； 4 质量流量控制器：2个气路，流速0～100 cc/min； 5 另配1路冲洗气路，1路破真空进气气路； 6 表面微加工精度达10 nm； 7 干泵排气速度＞10 m3/h； 8 配有Pirani压力计，实时数字显示工艺舱的压力值； 9 极限真空度≤1 Pa； 10 热电偶真空计时间控制可以精确到秒； 11 Windows控制系统，支持自动/手动控制模式自由切换，实时显示工艺过程，通过图表和数字实时显示气体流量、压力、等离子清洗时间，功率等工艺参数； 12 安全功能：温度、压力、门锁互锁功能； 13 报警功能：工艺气体异常报警，设置参数异常报警，显示详细报错信息； 14 设备可靠性：具有该响应型号不少于3份海内外知名高校（QS200****公司）供货业绩，提供合同证明。

60个月