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西南大学 - 竞价结果公告（CM106352024000196）

结果-中标通知

重庆 -重庆

发布时间： 2024年12月13日

摘要信息

中标单位

中标金额

中标单位联系人

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

代理单位

代理单位联系人

关键信息

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

**** - 竞价结果公告（****）

发布时间：2024-12-13 09:04:37

申购单号： ****

申购主题：电子束蒸发镀膜机

采购单位： ****

竞价开始时间： 2024-12-09 09:54:24

竞价截至时间： 2024-12-12 10:03:20

币种：人民币

付款方式：货到验收合格后付款

备注说明：各竞标商须知：1.所有货物要求免费送货上门、免费安装调试、原厂包装，竞标商如不能提供免费送货上门和免费安装调试，必须注明，申购用户认可的，方可成交。2.成交金额在5万元以上的，供方应在质量验收合格后，需方支付货款前，成交厂商向需方交纳成交总金额的5%作为质保金。质保金自货物质量验收合格之日起一年内若无遗留问题，需方将其质保金全额无息退还供方。3.开户名称： **** 银行账号： 310********24968877 开户银行：工行****支行统一社会信用代码： 121********401733W 银行行号： 102****00474；质保金退还事宜联系电话：****4566；4.如竞标货物为进口的，必须填写品牌、型号、厂家、产地，并在报价说明里面填写报价方式为DDP/DAP等，如不填写报价方式的则默认为DDP报价。5.合同模板请见：http://sysbc.****.cn/s/sbc/sbjjjgl/****1011/****989.html;6.请最后成交供应商必须提供增值税专用发票。

质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑

成交总额： 479000.00

送货时间：发布竞价结果后7天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

收货地址：

采购项品牌单项预算成交单价质保及售后服务技术参数数量型号成交总价成交供应商

电子束蒸发镀膜机

泰科诺

505000.00

479000.00

按行业标准提供服务

[{"key":1,"value":"★极限真空：\n空载优于5.0×10-5Pa（设备空载，抽真空24小时）；","important":true},{"key":2,"value":"▲升压率：\n设备升压率≤0.8Pa/h（12小时平均值）；设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa；","important":false},{"key":3,"value":"▲抽速：\n空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤30min；","important":false},{"key":4,"value":"★均匀性：\n200*200mm的蒸镀面积内薄膜厚度（200nm时）不均匀性≤±5%；","important":false},{"key":5,"value":"▲真空腔室：\n①结构\n采用立式方形、前后开门结构，方便取放基片、后门更换蒸发材料以及真空腔室日常维护；\n可与手套箱连接\n②材料及尺寸\n采用SUS304优质不锈钢，Φ600×H750mm真空腔室（以实际设计为准）腔室采用水冷线冷却；镀膜腔室（包括管道、连接法兰等）均进行清洁处理，内表面电抛等处理，以减少“出气”量，有利于真空度的提高及耐腐蚀；\n所有焊缝连接采用氩弧焊接技术，内表面抛光处理；\n③主要接口装配位置\n镀膜室顶板上分布：旋转基片台1套；预留加热器及热电偶接口；\n底部：底板布置一台电子枪、配挡板；另预留2组电阻蒸发源及2套挡板接口；\n后部：抽气口；\n④预留接口：装膜厚仪以及其它用途；\n⑤Φ100mm观察窗及挡板，位于前门，观察窗玻璃采用铅玻璃，防止射线辐射；\n⑥腔室防污屏蔽板采用优质不锈钢材质，便于拆卸清理、更换等。","important":false},{"key":6,"value":"★基片台：\n①基片台：平板型，抽屉式结构，装载210×210mm样片，可从基片架组件中取出，方便用户安装基片；\n②配有气动基片台挡板；\n③配备通用夹具，方便用户装卡各种不同规格尺寸的基片；\n④基片台电机驱动：旋转转速0～20转/分钟，连续可调；主轴磁流体密封；\n⑤蒸发源与基片台距离500mm（实际设计为准）","important":false},{"key":7,"value":"★电子束蒸发源：\n①E型电子枪270°偏转电子枪偏转角保证了电子束发射源材料对膜层的无污染；\n双向、快速的电子束扫描系统及扫描电路，避免了靶材的“扎坑”弊病；\n精密的水路设计，保证电子枪温升小，可以长期稳定工作；\n②电子枪电源：10kW；坩埚工位为6穴；\n③电子枪挡板：气动；\n④金属蒸发源：水冷铜电极2组（4个电极）；\n⑤逆变式蒸发电源：功率3kW；1台","important":false},{"key":8,"value":"真空系统：\n①真空机组采用“复合分子泵+直联高速旋片式真空泵”组合的真空系统；\n②分子泵型号：FF250/2000，抽速：2000L/s；\n③机械泵型号：TRP-48，抽速：14L/s，北仪优成，合资品牌，抽速快，低噪音；\n④前级/旁路阀：DN40，气动插板阀；\n⑤真空测量：“两低一高”数显复合真空计；两低一高是指两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空；测量范围从1×105Pa到1×10-5Pa；\n⑥波纹管材质：SUS304不锈钢；\n真空密封：常拆卸密封采用氟橡胶圈密封，不常拆卸密封采用金属密封；","important":false},{"key":9,"value":"电气控制系统：\n①电气控制系统：采用PLC+触摸屏控制系统，可实现自动一键式抽真空，蒸发镀膜电源采用手动控制，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索；\n②控制内容：分子泵、机械泵、阀门开关；分子泵电源参数显示及开关控制；真空计参数显示及控制；基片台转速显示和控制；\n③安全保护报警系统：在缺水、水压过低等情况下的报警系统；完善的逻辑程序互锁保护系统。","important":false},{"key":10,"value":"膜厚监测系统：\nSQM-160/1台+原装探头/1只+晶振片/1盒\nSQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。\n传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而**传感器的使用寿命。速率显示为 0.1/s 或 0.01/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数","important":false},{"key":11,"value":"手套箱：\n设备内包含一套可与设备完美连接的定制手套箱1套。","important":false}]

1.0个

TEMD600

479000.00

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