8942万 中山大学仪器采购意向

采购项目
名称

采购需求概况

预算金额
(万元)

预计
采购日期

**大****学院高真空Cluster热蒸发系统超高温加热装置采购项目

超高温加热装置1套

80

2024年12月

**大****学院分子束外延MBE升级改造-源炉相关采购项目

Veeco 镓源炉1个；Veeco 铝源炉1个；反射高能电子衍射抢 1个；离子泵1个

199

2024年12月

**大****学院宽光谱可调谐飞秒激光器采购项目

宽光谱可调谐激光器

269

2024年12月

**大****学院毫米波矢量网络分析仪采购项目

毫米波矢量网络分析仪1台

420

2024年12月

**大****学院光芯片自动耦合升级的扫谱系统采购项目

光芯片自动耦合升级的扫谱系统1套

97

2024年12月

**大****学院单光子探测模块采购项目

单光子探测模块8套

43.5

2024年12月

**大****学院超短脉冲激光源采购项目

超短脉冲激光源1套

136.5

2024年12月

**大****学院透射电子显微镜专用相机采购项目

透射电子显微镜专用相机1台

250

2025年1月

**大****学院激光刻蚀加工系统采购项目

激光刻蚀加工系统1套

98

2025年1月

**大****学院CNT制备设备采购项目

CNT制备设备1套

198

2025年1月

**大****学院Firstnano碳纳米管生长系统采购项目

Firstnano碳纳米管生长系统1套

30

2025年1月

**大****学院电子束光刻机（升级改造）采购项目

电子束光刻机1套

199

2025年1月

**大****学院等离子体深硅刻蚀系统（ICP）采购项目

等离子体深硅刻蚀系统（ICP）1台

417

2025年1月

**大****学院等离子体增强化学气相沉积采购项目

等离子体增强化学气相沉积1台

260

2025年1月

**大****学院手动式曝光机采购项目

手动式曝光机1台

216

2025年1月

**大****学院无掩膜曝光机采购项目

无掩膜曝光机1台

275

2025年1月

**大****学院原子层沉积系统采购项目

原子层沉积系统1套

120.3

2025年1月

**大****学院电子束蒸发系统采购项目

电子束蒸发系统1套

174

2025年1月

**大****学院共溅射磁控溅射系统采购项目

共溅射磁控溅射系统1套

208

2025年1月

**大****学院中红外光谱分析仪采购项目

中红外光谱分析仪

165

2025年1月

**大****学院宽带宽示波器系统采购项目

宽带宽示波器系统

198

2025年1月

**大****学院无掩膜光刻机采购项目

无掩膜光刻机1台

600

2025年1月

**大****学院等离子体增强化学气相沉积-介质（SiO2 Si）采购项目

等离子体增强化学气相沉积-介质（SiO2 Si）2台

580

2025年1月

**大****学院电感耦合等离子体刻蚀系统（ICP）Ⅲ-Ⅴ采购项目

电感耦合等离子体刻蚀系统（ICP）Ⅲ-Ⅴ 2台

820

2025年1月

**大****学院电感耦合等离子体刻蚀系统 (ICP) LN采购项目

电感耦合等离子体刻蚀系统 (ICP) LN 1台

404

2025年1月

**大****学院硅通孔刻蚀机采购项目

硅通孔刻蚀机1台

480

2025年1月

**大****学院化学气相沉积系统采购项目

化学气相沉积系统1套

50

2025年1月

**大****学院化学机械抛光（CMP）采购项目

化学机械抛光（CMP）1套

350

2025年1月

**大****学院电感耦合等离子体刻蚀系统采购项目

电感耦合等离子体刻蚀系统1套

80

2025年1月

**大****学院6 英寸管式炉采购项目

6 英寸管式炉 1套

50

2025年1月

**大****学院磁控溅射薄膜沉积系统采购项目

磁控溅射薄膜沉积系统1套

100

2025年1月

**大****学院氮化硅沉积机采购项目

氮化硅沉积机1台

310

2025年1月

**大****学院电容耦合等离子体氧化硅刻蚀机采购项目

电容耦合等离子体1台

370

2025年1月

**大****学院场发射微显示系统高频探针测试平台采购项目

场发射微显示系统高频探针测试平台1套

100

2025年1月

**大****学院键合对准模块采购项目

晶圆键合对准模块1套

115

2025年1月

**大****学院定位贴片机采购项目

定位贴片机1套

199.5

2025年1月

**大****学院电化学CV测量仪器采购项目

电化学CV测量仪器1套

280

2025年1月