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先进封装光刻机及温控装置产品产业化项目

审批

上海-上海-浦东新区

发布时间： 2024年12月14日

项目详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

****集团****公司（以下简称“微电子”或“公

司”）经营范围为半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、

制造、销售及技术服务，经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机械

设备、零配件、原辅材料的进口****公司经营或禁止进出口的商

品及技术除外）。

公司目前租赁**市**区民风路 396 号 1~3 幢、4 幢 2~3 层、5~8 幢及

******工业园区民秋路 366 号 2 幢进行生产建设，历经 5 次环评

并完成验收（具体见“与项目有关的原有环境污染问题”章节表 2-10），现有项

目生产规模包括年产曝光机（SSB260/10）共计 19 台，与曝光机生产相配套的

平板光刻工艺测试线，年测试次数为 12000 片次；年产激光封装设备 1 台；年产

ModuleAOI（自动光学检测设备）1 台；年产长短寸检测设备 1 台；年清洗 1500

件中小型光学机加工零件。

为了满足市场需求，公司拟在现有项目的基础上进行扩建，依托现有的民

风路 396 号 4 幢、5 幢厂房增加先进封装光刻机、温控机生产、测试线，预计新

增年产先进光刻机 100 台、温控设备 100 台。

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

400-688-2000

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