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| 直流测试系统 | 明致 | 197200.00 | 1、提供现场安装调试 2、质保:1年; | 1、载物台尺寸:150mm,平整度: ±5μm, 粗调:360°无间隙旋转,微调±7°2、Chuck采用Air-bearing stage技术,气浮快速移动,移动范围:160mm x 160mm,带自动锁死功能3、载物台微调XY行程:10x10mm,Z轴行程:10mm,移动分辨率为1um 4、增大型platen台面,可以同时容纳6个直流探针座或4个射频针座5、显微镜在 X-Y平面2inch x 2inch,范围内移动分辨率1μm6、成像系统:像素:200w7、源表测量电流分辨率:10 fA,源电压分辨率:10 nV,电阻量程范围:2Ω to 200MΩ 7、带KICKSTART软件及后台 | 1.0套 | 定制 | 197200.00 | **** |