开启全网商机
登录/注册
为便****政府采购信息,根据《****政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将****2024年12月高真空磁控溅射系统采购意向公开如下:
| 采购单位 | **** |
| 采购项目名称 | 大尺寸高真空磁控溅射系统 |
| 预算金额(元) | ****000.00 |
| 是否面向中小企业 | 面向中小企业 |
| 落实政府采购政策功能情况 | 落实政府采购相关政策 |
| 预计采购时间 | 2025年02月 |
| 采购需求概况 | 标的名称:大尺寸高真空磁控溅射系统 采购目录:A****0300电子工业生产设备 需实现的主要功能或者目标:空载腔体极限真空度:≤8x10-5 Pa,漏率≤5x10-10 Pa●m3/s;平面阴极:W80*L510mm,3套,分别用于2套金属氧化物和一套金属靶材,靶头水冷系统;射频电源 2KW,2套,直流电源 5KW;膜厚均匀性:210 mm半片内,≤5%@100nm,8%@30nm;工艺温度:RT-350oC;靶基距离:60-100mm可调;基片架:可放置210mm半片2片及其它规格小尺寸片子。 需满足的质量、服务、安全、时限等要求:(一)保证提供的产品为全新,质量检测合格,质保期1年 ;(二)免费提供安装调试、人员培训、软件升级等服务,售后服务响应及时;(三)保证正常使用时的安全;(四)时限要求: 供货期3个月左右。 |
| 联系人 | 冯老师 |
| 联系电话 | 159****6189 |
| 备注 | / |
****
2024年12月15日