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西北大学原子层沉积系统采购项目(三次)中标（成交）结果公告

结果-中标通知

陕西 -西安

发布时间： 2024年12月26日

摘要信息

中标单位

中标金额

中标单位联系人

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

代理单位

代理单位联系人

关键信息

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

一、项目编号：****

二、项目名称：原子层沉积系统采购项目(三次)

三、采购结果

合同包1(原子层沉积系统采购项目):

供应商名称供应商地址评审方法是否价格扣除中标（成交）金额评审价格

****

**省**市

最低评标（审）价法

否

459,900.00元

四、主要标的信息

合同包1(原子层沉积系统采购项目):

货物类（****）

品目号品目名称采购标的品牌规格型号数量（单位）单价(元) 总价(元)

1-1

其他电工、电子生产设备

原子层沉积系统

MCRI FH

1、设备主机 1）适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；沉积薄膜的均匀性不低于如下标准：在8英寸晶圆上沉积50nm薄膜（如氧化铝），以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤2%。 2）控制方式：PLC+触摸屏； 3）多种沉积模式。 2、反应腔系统 1）反应腔材质为316L不锈钢，电解抛光； 2）样品台尺寸：标准8英寸腔体； 3）样品台加热温度最高可达400℃，控制精度为±1℃； 4）反应腔配备自动充气及过压保护功能。 3、前驱体输送系统 1）提供常温源，加热源和载气辅助源各前驱体源多路实现（至少可实现常温源1路，加热源3路，载气辅助源2路）； 2）前驱体输送管路加热温度范围不低于RT-150℃； 3）配备各前驱体源ALD阀门，加热源配备耐高温阀，确保源瓶温度加热不小于RT-200℃范围； 4）管路及接头均采用316 EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用真空卡套及VCR连接；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制，并实现清洗功能。 4、臭氧源系统 1）配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC（量程0-200sccm）； 2）臭氧发生器产量可达20 g/h，浓度可达100 g/m3； 3）臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水。 5、真空系统 1）真空泵采用机械泵；真空产生系统优于3Pa； 2）真空测量检测范围5×10-4~1000 mbar； 3）真空泵前热阱前端全程伴热温度范围优于RT-150℃，防止过量前驱体冷凝，热阱温度范围优于RT-300℃，控制精度±1℃。 6、控制系统采用高稳定性PLC控制系统，实现软件全自动控制加热、流量等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控。可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有ALD阀门具备自动排空功能，管线具备自动清洗功能等。当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看。 7、验收指标在8英寸晶圆上沉积50nm薄膜（如氧化铝），以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤2%。 8、服务质保期1年，软件终身免费升级。

1.00(套)

459,900.00

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

黄志晖、霍忠惠、雷晓艺（采购人代表）

六、代理服务收费标准及金额：

代理服务收费标准及金额

1、成交人在领取成交通知书时，参照原《国家计委关于印发的通知》(计价格〔2002〕1980号)、《国家发展改革委关于降低部分建设项目收费标准规范收费行为等有关问题的通知》(发改价格〔2011〕534号)以及财政部关于印发的通知》（财库〔2018〕2号）规定，下浮20%，向****交纳招标服务费。 2、招标代理服务费应采用转账形式交纳。3、收款账户如下：收款单位：**** 开户银行：****银行****公司**金泰假日花城支行银行账号：6105 0186 5800 0000 0059。

合同包号	合同包名称	代理服务费金额（万元）	收取对象
1	原子层沉积系统采购项目	0.5518	中标（成交）供应商

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其他补充事宜

无

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称：****

地址：**北路229号

联系方式：029-****2565

2.采购代理机构信息

名称：****

地址：**市朱雀大街南段1号汇成天玺C座18层

联系方式：029-****2321

3.项目联系方式

项目联系人：秦工

电话：029-****2321

****

2024年12月26日