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激光直写系统
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4500000.00
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***********公司企业信息
****2025年2月政府采购意向-激光直写系统 详细情况
| 激光直写系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年2月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 激光直写系统 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0999其他金属加工设备
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| 采购需求概况 ： |
完成实验平台相关的复杂核心部件的高精度成型加工，包括能够兼容不同非金属和金属材料，进行表面和内部微腔等的结构加工。通过GUI界面进行系统控制，能够达到1um以内的特征精度和对齐精度。 1.系统应该包含激光光路、样品运动控制、机器视觉、安全防护、废气处理等主要组成部分。 2.样品台可真空吸附基片，最大兼容四英寸晶圆，行程大于100mm，定位精度±100nm，可进行倾角调节。 3.机器视觉系统分辨率优于1um。 4.支持2D/3D模型文件导入。 5.能够通过GUI界面对系统进行激光调节和运动控制。 6.标的为一套系统，签订合同之日起365个自然日货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜按采购人指定地点及时间安排要求执行。 7.质保期一年。
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| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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