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材料科学与工程学院原子层沉积(WSJJ20250002)网上竞价采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2025年01月02日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

原子层沉积	****
2025-01-02 14:50:46	2025-01-05 16:00:00
****	国产-甲方预付货款的20%，待货到甲方验收合格，乙方出具全额正规发票后，甲方一次性支付剩余货款。

	签订之日起3个工作日内
￥460000.00




**(校区)
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

原子层沉积系统

台

控制设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

科纳迪

ALD-T100B

￥ 460000.00

（1）4英寸硅片上沉积300cycle氧化铝非均匀性<±1%；（2）最高300℃沉积温度，温度控制精度±0.5℃；（3）高精度膜厚控制(0.1 nm/cycle，精度±0.5 A)；（4）真空系统极限≤1 Pa，系统漏率≤6*10-10Pa.m3/s；（5）4 路源：3路加热金属前驱体源和1路水源，配备专用ALD 阀门、手动隔膜阀以及前驱体源源瓶；（6）操作简单，具备Windows兼容的自动控制软件。

电话支持:7x24小时;质保期:1年;响应时间:报修后12小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品、送货上门/安装调试/技术培训;