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原子层沉积 镀膜机
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5500000.00
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***********公司企业信息
****2025年1至3月政府采购意向-原子层沉积 镀膜机 详细情况
| 原子层沉积 镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 原子层沉积 镀膜机 |
| 预算金额： | 550.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2100教学仪器
|
| 采购需求概况 ： |
1. 8 寸基片，沉积 300 循环氧 化锡，以晶圆上至少 9 个均匀 分散点进行膜厚测试，膜厚 非均匀性≤±2% 2. 300℃ 加热 , 温度控制精度 ± 2℃ 3. 300W PEALD 4. 6 路前驱体源系统（4 金属、1 臭氧发生器、1 水） 5. 沉积自动控制系统
|
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-01-06
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