纳米级表面形貌检测系统单一来源采购前公示

单一来源采购前公示

一、项目信息

采购人：沈哲

项目名称：纳米级表面形貌检测系统

预算金额：82万

拟采购项目概况：针对半导体芯片、超表面器件、微电子以及超高亮度发光二极管等复杂且微小的结构，进行从微米到纳米尺度的表面形貌测量，实现对轮廓形状、表面粗糙度及尺寸的精准分析与评价。用于在微米到纳米尺度范围内，对材料或器件的表面形貌进行全面的表征，从而确保其尺寸、形状和粗糙度的精确测量。主要指标要求最大晶圆尺寸:200mm(8 英寸)；最大样品厚度:50mm (2 英寸)；台阶高度重现性:<4,1σ在1μm台阶上；垂直范围:1mm(0.039英寸)。

二、采用单一来源采购方式的原因及说明：

在纳米级表面形貌检测中，布鲁克台阶仪能够提供高精度的测量结果，这对于需要精确数据的研究和生产过程来说非常重要。布鲁克台阶仪可以进行多种类型的表面形貌测量，包括但不限于台阶高度、粗糙度、薄膜厚度等。这种多功能性使得一台设备就可以满足多种测量需求。作为一家全球知名的科学仪器制造商，布鲁克提供专业的售后服务和技术支持，这在设备出现问题时可以得到及时的帮助。布鲁克的产品以其稳定可靠而著称，长期使用也能保持良好的性能。

三、拟定供应商信息

制造商：布鲁克

代理商（如果有）：**铂悦仪器

公司地址：**市**区莘砖公路518****园区28幢301室

四、公示期限

3个工作日

五、其他补充事宜：

六、联系方式

1.采购人

联 系 人：沈哲

联系地址：**省**市**区孝陵卫200号

联系电话：138****5288

2.****办公室

联 系 人：吴老师

联系地址：**省**市**区孝陵卫200号

联系电话：025-****3870

七、附件

单一来源采购专家论证意见表