电子图形化设备

发布时间: 2025年01月07日
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***********公司企业信息
****2025年1至12月政府采购意向-电子图形化设备 详细情况
电子图形化设备
项目所在采购意向: ****2025年1至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 电子图形化设备
预算金额: 500.000000万元(人民币)
采购品目:
A****9900其他电工、电子生产设备
采购需求概况 :
采购一台电子图形化设备,用于在器件工艺中实现15nm高精度图形的制备。通过电子束轰击电子敏感材料,精确控制电子束的扫描和定位,在材料上形成图形。最小光刻线宽≤15 nm;电子枪最大加速电压≥30 kV;最小聚焦束斑≤3 nm;套刻精度≤50 nm。
预计采购时间: 2025-02
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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