超1亿元！东南大学近期仪器采购意向

采购项目

采购需求概况

预算金额
(万元)

预计
采购日期

光学显微镜（3台）

光学显微镜（3台）

120

2025年2月

原子层沉积镀膜机

原子层沉积镀膜机

550

2025年2月

掩膜光刻机

掩膜光刻机

450

2025年2月

原子层刻蚀机

原子层刻蚀机

580

2025年2月

磁控溅射沉积镀膜机

磁控溅射沉积镀膜机

450

2025年2月

原子力显微镜

原子力显微镜

350

2025年2月

等离子体增强化学气相沉积镀膜机

等离子体增强化学气相沉积镀膜机

380

2025年2月

快速退火系统

快速退火系统

180

2025年2月

HF气体刻蚀机

HF气体刻蚀机

550

2025年2月

高温高压光学浮区炉

高温高压光学浮区炉1套

1000

2025年1月

空间角分辨拓扑单光子测试系统

空间角分辨拓扑单光子测试系统1套

800

2025年2月

量子自旋多层膜磁控溅射真空互联系统

量子自旋多层膜磁控溅射真空互联系统1套

500

2025年2月

60T非破坏脉冲磁场综合物性测量系统

61T非破坏脉冲磁场综合物性测量系统1套

700

2025年2月

片上热流场设计与粒子输运成像系统

片上热流场设计与粒子输运成像系统1套

600

2025年2月

扫描电子显微镜（配有电子束曝光 模块）

扫描电子显微镜（配有电子束曝光 模块）

680

2025年2月

特殊气体系统

特殊气体系统

650

2025年2月

电子束蒸发沉积镀膜机

电子束蒸发沉积镀膜机

550

2025年2月

光刻辅助系统

包含通风橱，匀胶机，加热台，烘箱等光刻辅助设备

250

2025年2月

反应离子刻蚀机

反应离子刻蚀机

350

2025年2月

封装配套系统

封装配套系统

200

2025年2月

热蒸发沉积镀膜机

热蒸发沉积镀膜机

280

2025年2月

无掩膜光刻机

无掩膜光刻机

700

2025年2月

环境模拟实验装置舱体及配套设施

环境模拟实验装置舱体及配套设施

2000

2025年1月