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郑州合晶硅材料有限公司高性能材料研发试验项目

审批

河南-郑州-新郑市

发布时间： 2025年01月15日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

1.郑****公司
****0100MA40K7H35C	刘苏生
周晶晶	**（综合保税区）
****合实验区工业四路以南、华夏大道以西（鹤舞东街60号）

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

郑****公司高性能材料研发试验项目	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C398-C398-电子元件及电子专用材料制造
	**（综合保税区）鹤舞东街60号
经度:113.**5433 纬度: 34.**8634	**合实验区（综合保税**环保局
	2023-02-03
郑港环审【2023】1号	****0100MA40K7H35C001Q
2024-07-24	45000
70	郑****公司
****0100MA40K7H35C	大学环境**公司
914********057229C	****公司,河**公司
**0100MA46TXP82Y,**0100MA469U0K4U	2024-07-01
2024-07-25	2024-08-20
2024-12-02	2025-01-10
	第一环评网http://www.****.com/

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无变化

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产24万片	年产24万片
无变化

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

配料--装炉、长晶--拆炉--晶棒切头去尾、切段--滚圆--晶棒质量评价--切片--切片后清洗--硅片倒角--研磨--研磨后清洗2--刻蚀--晶背加工--晶背加工后清洗3--抛光--成品清洗--性能测试及包装；	配料--装炉、长晶--拆炉--晶棒切头去尾、切段--滚圆--晶棒质量评价--切片--切片后清洗--硅片倒角--研磨--研磨后清洗2--刻蚀--晶背加工--晶背加工后清洗3--抛光--成品清洗--性能测试及包装；
无变化

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

①拆炉废气依托现有弹匣式滤筒除尘器处理后、真空泵废气依托现有油雾净化装置处理后与长晶工段废气（真空泵前端自带滤筒式除尘器）共同依托现有碱液喷淋塔洗涤后由1根25m高排气筒排放（DA001）；②硅片酸蚀/晶棒质量评价工段产生的氮氧化物、HF废气、乙酸废气依托现有三级碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放（DA002）；③半成品硅片研磨后清洗、晶背加工后清洗、成品硅片清洗工段产生的HF、HCl酸排气体依托现有碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放（DA003）；④研磨后清洗2清洗废气、成品硅片碱洗工段NH3依托现有硫酸吸收塔处理后通过25m高排气筒排放（DA004）；⑤切片、倒角等工段产生的湿粉尘气体、特气依托现有碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放（DA005）；⑥污水处理站废气依托现有UV除臭+碱液吸收塔处理后25m高排气筒排放（DA006）。本次工程污水处理依托现有，****处理厂各处理系统工艺：①研磨废水处理系统工艺：“CMP研磨废液调节槽+CMP pH反应槽+CMP混凝槽+CMP絮凝槽+研磨废水沉淀槽+研磨废水中继槽”，处理规模600m3/d；②含氟废水处理系统工艺：“研磨含氟废水调节槽+前处理槽+pH反应槽1+快混槽+慢混槽+研磨含氟沉淀槽+研磨含氟澄清槽”，处理规模1400m3/d；③生化系统处理工艺：“生化pH调节槽+无氧槽+好氧槽+MBR膜”处理规模1440m3/d；④酸碱废水处理系统工艺：“酸碱废水调节槽+NO.1中和槽+NO.2中和槽+放流监视槽”，处理系统规模3000m3/d。噪声污染防治措施：隔声、减振。	①拆炉废气依托现有弹匣式滤筒除尘器处理后、真空泵废气依托现有油雾净化装置处理后与长晶工段废气（真空泵前端自带滤筒式除尘器）共同依托现有碱液喷淋塔洗涤后由1根25m高排气筒排放（DA001）；②硅片酸蚀/晶棒质量评价工段产生的氮氧化物、HF废气、乙酸废气依托现有三级碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放（DA002）；③半成品硅片研磨后清洗、晶背加工后清洗、成品硅片清洗工段产生的HF、HCl酸排气体依托现有碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放（DA003）；④研磨后清洗2清洗废气、成品硅片碱洗工段NH3依托现有硫酸吸收塔处理后通过25m高排气筒排放（DA004）；⑤切片、倒角等工段产生的湿粉尘气体、特气依托现有碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放（DA005）；⑥污水处理站废气依托现有UV除臭+碱液吸收塔处理后25m高排气筒排放（DA006）。本次工程污水处理依托现有，****处理厂各处理系统工艺：①研磨废水处理系统工艺：“CMP研磨废液调节槽+CMP pH反应槽+CMP混凝槽+CMP絮凝槽+研磨废水沉淀槽+研磨废水中继槽”，处理规模600m3/d；②含氟废水处理系统工艺：“研磨含氟废水调节槽+前处理槽+pH反应槽1+快混槽+慢混槽+研磨含氟沉淀槽+研磨含氟澄清槽”，处理规模1400m3/d；③生化系统处理工艺：“生化pH调节槽+无氧槽+好氧槽+MBR膜”处理规模1440m3/d；④酸碱废水处理系统工艺：“酸碱废水调节槽+NO.1中和槽+NO.2中和槽+放流监视槽”，处理系统规模3000m3/d。噪声污染防治措施：隔声、减振。
无变化

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目依托厂区现有雨污分流、导排系统，事故池3000m3，雨水池500m3，1m3化学品库泄漏收集池。	本项目依托厂区现有雨污分流、导排系统，事故池3000m3，雨水池500m3，1m3化学品库泄漏收集池。
无变化

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）砷(吨/年) 废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

70	7	77	77	7
33.56	2.792	41.52	36.352	2.792
2.517	0.629	3.379	3.146	0.629
0.001	0.01	0.131	0.011	0.01
1.02	2.406	5.09	3.426	2.406
0.01	0.0001	0.011	0.01	0
180850	9172	192018	190022	9172	/
0	0	0	0	0	/
3.6	0.246	3.971	3.846	0.246	/
1.816	0.029	1.9752	1.845	0.029	/
0.48	0.029	0.518	0.509	0.029	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

污水处理站

污水处理厂收水协议、电子工业水污染物排放标准GB 39731-2020

依托现有，①研磨废水处理系统工艺：“CMP研磨废液调节槽+CMP pH反应槽+CMP混凝槽+CMP絮凝槽+研磨废水沉淀槽+研磨废水中继槽”，处理规模600m3/d；②含氟废水处理系统工艺：“研磨含氟废水调节槽+前处理槽+pH反应槽1+快混槽+慢混槽+研磨含氟沉淀槽+研磨含氟澄清槽”，处理规模1400m3/d；③生化系统处理工艺：“生化pH调节槽+无氧槽+好氧槽+MBR膜”处理规模1440m3/d；④酸碱废水处理系统工艺：“酸碱废水调节槽+NO.1中和槽+NO.2中和槽+放流监视槽”，处理系统规模3000m3/d。"

pH值8.1～8.8、化学需氧量38～46mg/L、氨氮8.38～10.4mg/L、总氮30.4～43.2mg/L、总磷0.1～0.2mg/L、悬浮物10～14mg/L、砷0.001～0.0015mg/L、氟化物3.57～3.73mg/L。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	长晶废气处理系统	大气污染物综合排放标准GB 16297-1996、《**市2019年工业企业深度治理专项工作方案》	真空泵废气依托现有油雾净化预处理，拆炉废气依托滤筒除尘预处理，和长晶废气一起依托现有碱吸收塔	颗粒物排放浓度3.5～6.3mg／m3、砷排放浓度0.00712～0.0112mg／m3、油雾2.8～3.0mg／m3
2	晶棒质量评价废气处理系统	大气污染物综合排放标准GB 16297-1996、《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办[2017]162号)	依托现有三级碱吸收	氟化物排放浓度0.94～1.02mg／m3、氮氧化物排放浓度13～49mg／m3、非甲烷总烃3.16～4.04mg／m3
3	酸性废气处理系统	大气污染物综合排放标准GB 16297-1996	依托现有碱吸收	氯化氢排放浓度0.44～0.46mg／m3、氟化物未检出
4	碱性废气处理系统	恶臭污染物排放标准GB 14554-93	依托现有硫酸吸收	氨气排放浓度0.582～0.736mg／m3
5	切片废气处理系统	大气污染物综合排放标准GB 16297-1996、《**市2019年工业企业深度治理专项工作方案》、《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办[2017]162号)	依托现有碱喷淋	颗粒物排放浓度2.3～2.9mg／m3、非甲烷总烃2.51～3.09mg／m3
6	污水处理站废气处理设施	恶臭污染物排放标准GB 14554-93	依托现有“UV光解+碱喷淋吸收”	臭气浓度排放浓度416～478（无量纲）、硫化氢排放浓度0.16～0.191mg／m3、氨气排放浓度0.655～0.948mg／m3

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

生产设备、冷却塔、冷却水泵、鼓风机、水泵等设备基础减振、隔声罩等措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准

高噪声设备置于设备间内、采取基础减振、隔声罩等措施

厂区东厂界、南厂界、西厂界、北厂界噪声昼间监测值51~57dB(A)、夜间监测值为46~49dB(A)

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

生产车间、化学品库依托现有设置的导流沟和截留装置，防止物料泄漏或跑冒滴漏时向外环境扩散，同时可以作为车间地面清洗时导排水用。氢氧化钠、硫酸储罐依托此案围堰及泄漏报警装置。依托现有500m3雨水收集池、3000m3事故水池。依托现有雨污分流、导排系统。

已落实

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

本项目产生的危险废物包括真空泵废油、晶棒质量评价含铬检测废液、含砷废包装瓶、长晶炉拆炉粉尘除尘器除尘灰以及除尘器废滤筒，暂存于厂区现有200m2危险废物暂存间暂存后，委托有资质的单位处理，危废暂存及处置能够满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）。一般工业固废：废坩埚、埚底料、头尾料、不合格品、污水站污泥、废包装桶、废钢丝、废切削液、废塑料垫片、研磨污泥、废抛光垫片，暂存于厂区现有400m2一般固废暂存间暂存后，合理处置或外售，能够满足《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18559-2020）标准要求。

已落实

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

1、依托现有生产车间、化学品仓库、气体站、库配电室、控制室配备的灭火装置 2、生产车间、化学品库依托现有设置的导流沟和截留装置，防止物料泄漏或跑冒滴漏时向外环境扩散，同时可以作为车间地面清洗时导排水用。氢氧化钠、硫酸储罐依托此案围堰及泄漏报警装置。气体站依托现有气体报警装置及备用电源。 3、依托现有500m3雨水收集池、3000m3事故水池 4、依托现有雨污分流、导排系统 5、生产车间、化学品库、气体站依托现有设置的事故应急柜、防毒面具、医疗物资等 6、事故发生后组织有资质单位进行现场监测 7、制定风险应急预案，并进行培训和演练

已落实

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程