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麦斯克电子材料股份有限公司年产360万片8英寸硅外延片项目

审批

河南-洛阳-涧西区

发布时间： 2025年01月24日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
914********912049A	史建强
焦文铖	省市**区
中国（）自由贸易试验区**开发区滨路99号北侧**综合保税区

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****年产360万片8英寸硅外延片项目

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省洛开发区中国（）自由贸易试验区****开发区滨路99号北侧**综合保税区
经度:112.32463 纬度: 34.574	****管委会行政审批局
	2022-09-26
洛自贸审批〔2022〕62号	****
2019-12-23	56662
335	****
914********912049A	******公司
****0307MA9FJWB08M	中碳**公司
****0307MA9JYR4X5H	2024-11-23

2024-12-25	2025-01-23
	生态环境公示网

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

****年产360万片8英寸硅外延片项目，属于扩建项目	****年产360万片8英寸硅外延片项目，属于扩建项目
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产360万片8英寸硅外延片	年产52.8万片8英寸硅外延片
分期验收

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

生产工艺：8英寸硅抛光片—基座清理、吹扫—气相抛光—外延生长—抽样质检—碱洗—纯水洗—酸洗—纯水洗—质检、甩干—封装—产品外延片	生产工艺：8英寸硅抛光片—基座清理、吹扫—气相抛光—外延生长—抽样质检—碱洗—纯水洗—酸洗—纯水洗—质检、甩干—封装—产品外延片
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、废气。该项目废气包括外延炉废气、清洗酸碱废气和燃气锅炉废气。外延炉废气经“干式吸附装置+二级碱液喷淋吸收塔”净化处理，清洗酸碱废气采用一套碱液喷淋吸收塔净化处理，燃气锅炉加装低氮燃烧器处理。外延炉废气及清洗酸碱废气中的颗粒物、HCl、NOX排放均应满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2的二级标准要求，NH3排放应满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）中的标准要求。燃气锅炉NOX、SO2、颗粒物排放均应满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB41/2089-2021）表1特别排放限值要求。 2、废水。该项目废水包括生产废水、生活污水和洁净排水。生产废水包括外延片清洗废水、外延炉中石英件酸洗废水、废气处理设施废水，洁净排水包括设备冷却水和纯水制备排水。生产废水主要分为酸碱废水和含氟废水，按照“分类收集分质处理”原则，含氟废水、酸碱废水分别经**处理站含氟废水处理系统和中和处理系统进行预处理。生活污水依托厂区内现有化粪池预处理。该项目建成后，洁净排水同其他预处理废水在厂区总排口汇合。总排口各污染因子排放浓度均应满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准要求，同时**处理厂的进水水质要求。 3、噪声。对高噪声设备采取有效措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3、4类标准要求。 4、固废。产生的一般固废暂存于一般固废暂存处，定期外售综合利用或厂家回收；产生的危险废物应按危废管理办法进行收集暂存，定期交有资质单位处置，并做好危废台账管理。	1、废气。该项目废气包括外延炉废气、清洗酸碱废气和燃气锅炉废气。外延废气设置喷淋吸收装置，处理后楼顶高空排放；清洗工序产生的酸性废气经清洗槽微负压收集后进入碱液喷淋吸收塔处理，由1根25m排气筒排放；清洗工序产生的碱性废气经清洗槽微负压收集后进入酸液喷淋吸收塔处理，由1根25m排气筒排放；锅炉每台设置一套低氮燃烧装置，由1根25m排气筒排放。根据验收检测结果，氯化氢、氮氧化物、氟化物排放浓度、排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求；氨排放速率满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2排放限值；锅炉废气颗粒物、二氧化硫、氮氧化物排放浓度折算值均满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB41/2089-2021）表1燃气锅炉特别排放限值要求。 2、废水。该本项目废水包括生产废水、生活污水。生产废水可分为含氟废水、酸碱废水、废气治理废水、纯水制备废水、循环冷却定期排水；含氟废水排入含氟废水处理系统进行预处理，处理后与酸碱废水、废气治理废水、纯水制备废水、循环冷却定期排水一起排入酸碱废水中和处理系统处理，然后同生活污水在厂区总排口混合，**处理厂进一步处理，尾水处理达标后排入中州渠，最终进入洛河。根据监测结果可知，厂区总排口各污染因子排放浓度均应满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准要求，同时处理厂的进水水质要求。 3、噪声。对高噪声设备采取有效措施，根据监测结果可知，厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3、4类标准要求。 4、固废。本项目固体废物包括生活垃圾、一般固废和危险废物。一般固废包括包装工序产生的废包装材料、原料检验工序产生的不合格硅片衬底、产品检验工序产生的不合格硅外延片，纯水制备产生的废活性炭、废反渗透膜及废离子交换树脂、干式吸附装置中处理站的脱水污泥。本项目一座76m2的一般固废暂存区间，固体废物按照分类分区存放。废包装材料、不合格硅片衬底、不合格硅外延片厂内收集后外售综合利用，脱**填埋场填埋、纯水制备产生的废活性炭、反渗透膜和废离子交换树脂以及干式吸附装置中的废吸附填料由供货厂家回收再生。危险废物主要为废化学品包装桶和废汞液，本项目一座60m2的危废暂存间，危险废物在危废暂存间分区暂存后交由资质单位处置。生活垃圾经收集后定期运往垃圾中转站集中处理。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

认真落实《报告书》提出的环境风险防范措施和要求，制定污染事故应急防范预案，加强日常管理，防止发生污染事故。	企业严格《报告书》中提出的各项环境风险防范措施，建设火灾报警、联动控制系统、气体检测报警系统、1#应急池（810m3）、2#应急池（810m3）、消防水池5100m3等，企业在落实工程设计及环评提出的事故风险防范措施、应急措施的前提下，本项目风险事故对周围环境影响较小。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0
1.8525	148.4726	1.853	1.853
0.4241	19.8834	0.424	0.424
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0.0129	0.032	0.013	0.013	/
0.235	0.3227	0.235	0.235	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

污水处理站

《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准

污水处理站

根据监测结果可知，****处理站排口中废水污染因子排放浓度分别为：pH7.59~7.99、化学需氧量14mg/L~26mg/L、悬浮物10mg/L~19mg/L、氨氮1.9mg/L~1.93mg/L、氟化物0.775mg/L~0.901mg/L、总磷0.408mg/L~0.438mg/L。污染物排放浓度均符合足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准（pH6~9，化学需氧量500mg/L、悬浮物400mg/L、氨氮45mg/L、氟化物20mg/L、总磷8mg/L）要求，****处理厂深度处理。根据监测结果可知，厂区废水总排口中废水污染因子排放浓度分别为：pH7.55~7.98、化学需氧量33mg/L~42mg/L、悬浮物21mg/L~29mg/L、氨氮8.43mg/L~8.67mg/L、氟化物0.557mg/L~0.628mg/L、总磷0.302mg/L~0.318mg/L、总氮44.0mg/L~46.4mg/L、石油类0.25mg/L~0.3mg/L。污染物排放浓度均符合足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准（pH6~9，化学需氧量500mg/L、悬浮物400mg/L、氨氮45mg/L、氟化物20mg/L、总磷8mg/L、总氮70mg/L、石油类20mg/L）要求，****处理厂深度处理。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸性废气：碱液喷淋吸收塔	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准	酸性废气：碱液喷淋吸收塔	根据监测数据可知，项目酸性废气经碱液喷淋吸收塔处理后，氯化氢排放浓度为0.98mg/m3~1.13mg/m3，排放速率为0.0138kg/h~0.017kg/h；氮氧化物排放浓度为未检出；氟化物排放浓度为0.62mg/m3~0.67mg/m3，排放速率为0.008kg/h~0.0101kg/h。污染物排放浓度、排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求（25m高排气筒，氯化氢、氮氧化物、氟化物最高允许排放速率分别为0.915kg/h、2.85kg/h、0.38kg/h，最高允许排放浓度分别为100mg/m3、240mg/m3、9mg/m3）。
2	碱性废气：碱液喷淋吸收塔	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2的二级标准	碱性废气：酸液喷淋吸收塔	项目碱性废气经酸液喷淋吸收塔处理后，项目氨排放浓度为0.96mg/m3~1.13mg/m3，排放速率为0.00335kg/h~0.00404kg/h，去除效率为81%~81.1%。排放速率满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2排放限值（25m排气筒，排放量14kg/h）。
3	锅炉废气：低氮燃烧	《锅炉大气污染物排放标准》（DB41/2089-2021）	锅炉废气：低氮燃烧	项目锅炉废气颗粒物排放浓度（折算后）最大值3.4mg/m3、二氧化硫排放浓度（折算后）最大值4mg/m3、氮氧化物排放浓度（折算后）最大值23mg/m3、林格曼黑度<1级，均满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB41/2089-2021）表1燃气锅炉排放限值要求（颗粒物5mg/m3、二氧化硫10mg/m3、氮氧化物30mg/m3、林格曼黑度≤1级）。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

有效措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）

基础减震、厂房隔声

根据监测结果及分析，项目区域声环境质量状况良好，各设备噪声经降噪措施后衰减到厂界，经检测，项目厂区西厂界昼间噪声检测值为51~52dB(A)、夜间噪声检测值为42~44dB(A)，满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类限值要求（昼间：65dB(A)，夜间55dB(A)），南、北厂界昼间噪声检测值为51~54dB(A)、夜间噪声检测值为42~44dB(A)，均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）4类限值要求（昼间：70dB(A)，夜间55dB(A)）。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

认真落实《报告书》提出的环境风险防范措施和要求，制定污染事故应急防范预案，加强日常管理，防止发生污染事故。

企业严格《报告书》中提出的各项环境风险防范措施，建设火灾报警、联动控制系统、气体检测报警系统、1#应急池（810m3）、2#应急池（810m3）、消防水池5100m3等，企业在落实工程设计及环评提出的事故风险防范措施、应急措施的前提下，本项目风险事故对周围环境影响较小。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程