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| 1 | 硬X射线自由电子激光装置-能散补偿系统-控制系统 | 能散补偿系统安装于加速器束流真空,通过一对平行于束流的褶皱状平板,来精确的控制纵向和横向束流尾场。能散补偿系统的控制系统包括电机、光栅尺、控制器等,用于对大梁的位置进行控制及微调。极间隙调节分辨率<10微米,极间隙调节速度0.01~2mm/s,重复定位精度<25微米。 |
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