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激光溅射团簇离子源系统 (XJD2025021700007) 采购公告
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激光溅射团簇离子源系统 (****) 采购公告
发布时间：2025-02-17 16:00:52
| 激光溅射团簇离子源系统 | 项目编号**** | |
| 2025-02-17 16:00:52 | 公告截止日期2025-02-21 12:00:00 | |
| **** | 付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。 | |
| 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求发布竞价结果后7天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区**** | ||
| 无 | ||
采购清单 1
| 激光溅射团簇离子源系统 | 1.00 | 无 |
| 无 |
| 无 |
| 1. 溅射样品靶传统装置：二维运动，保证每次溅射均为新鲜表面； 2. 溅射离子源真空：10-4 Pa (闲置状态)，10-2 Pa (工作状态)； 3. 溅射离子源真空获得系统：900 L/s分子泵1套、700 L/s分子泵1套以及3 L/s机械泵2套； 4. 达到指定真空所需时间：＜60分钟； 5. 真空获得系统指标：使用真空获得系统抽空，在60分钟内达到优于10-4 Pa的本底真空。在脉冲进气的工况下（5个大气压力，通过0.5mm孔脉冲进气150us/10Hz）维持优于10-2 Pa的系统工作压强； 6. 其他系统配套：包含主要腔体、铝型材支架、调整托盘、阀门、波纹管及盲板等必要组件； |
| 按行业标准提供服务，质保期12个月。 |
招标进度跟踪
2025-02-21
2025-02-17
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激光溅射团簇离子源系统 (XJD2025021700007) 采购公告
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