预算超2.8亿！中国科学院微电子研究所近期采购意向来了

采购项目名称

采购需求概况

预算金额（万元）

预计采购日期

硅片

制备半导体器件，数量700 片

150

2025 年 2 月

4G-LTE Cat.1 通信 SOC 芯片晶圆

4G-LTE Cat.1 通信的 SOC 芯片及其配套的 PMIC 芯片，晶圆数量各 1 张

160

2025 年 3 月

高温集成电路与元器件

高温集成电路与元器件

140

2025 年 3 月

全自动光学显微镜

全自动光学显微镜1 台

150

2025 年 4 月

新型存储器刻蚀系统

新型存储器刻蚀系统1 台

1500

2025 年 4 月

激光发生装置

激光发生装置

130

2025 年 4 月

12 英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备

12 英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备 1 台

3800

2025 年 4 月

数模混合综合老化系统

数模混合综合老化系统1 台

114

2025 年 4 月

稳态热阻测试系统

稳态热阻测试系统1 台

115

2025 年 4 月

三维集成封装动态数字全息显微分析仪

三维集成封装动态数字全息显微分析仪1 台

252

2025 年 5 月

低温变频C-V 测试设备

低温变频C-V 测试设备

350

2025 年 5 月

透射电子显微镜(TEM) 、聚焦离子束显微镜 (FIB) 以及二次离子质谱 (SIMS) 等半导体测试分析

透射电子显微镜(TEM) 、聚焦离子束显微镜 (FIB) 以及二次离子质谱 (SIMS) 等半导体测试分析

1000

2025 年 5 月

离子刻蚀机

离子刻蚀机1 台

810

2025 年 5 月

光谱检测仪

日本横河 AQ6380 光谱检测仪 1 台

100

2025 年 6 月

低频阻抗分析仪

低频阻抗分析仪1 台

100

2025 年 6 月

X 射线光电子能谱仪

X 射线光电子能谱仪

900

2025 年 6 月

激光隐形切割成套设备

激光隐形切割成套设备

1000

2025 年 6 月

12 吋晶圆等离子划片机

12 吋晶圆等离子划片机

1880

2025 年 6 月

12 吋晶圆级激光去胶开槽设备

12 吋晶圆级激光去胶开槽设备

800

2025 年 6 月

12 吋晶圆级无机红外拆键合设备

12 吋晶圆级无机红外拆键合设备

5300

2025 年 6 月

翘曲测量仪

翘曲测量仪

620

2025 年 6 月

12 吋物理气相沉积设备

12 吋物理气相沉积设备

2300

2025 年 6 月

PVTC-A1 比容量仪

PVTC-A1 比容量仪

245

2025 年 6 月

流片

流片50 颗

100

2025 年 6 月

低噪声高频信号发生器

低噪声高频信号发生器1 台

180

2025 年 6 月

high-K 介质电感耦合等离子体刻蚀设备

high-K 介质电感耦合等离子体刻蚀设备 1 台

900

2025 年 6 月

干法去胶机

干法去胶机1 台

200

2025 年 6 月

高深宽比横向湿法刻蚀设备

高深宽比横向湿法刻蚀设备1 台

1210

2025 年 6 月

金属及金属氧化物原子层沉积设备

金属及金属氧化物原子层沉积设备1 台

1800

2025 年 6 月

金属及金属氧化物电感耦合等离子体刻蚀设备

金属及金属氧化物电感耦合等离子体刻蚀设备1 台

860

2025 年 6 月

等离子体增强化学气相沉积设备

等离子体增强化学气相沉积设备1 台

1200

2025 年 6 月