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上海大学2025年03月政府采购意向
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为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 ****2025年03月政府采购意向 如下：
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 标书代写
| 1 | 脉冲激光晶圆加工设备 | 1．全固体飞秒激光光路直写加工，1030nm，515nm。 2. 激光器参数：中心波长1030nm±10nm，平均功率≥10W，脉冲宽度≤290fs，单脉冲能量：≥400uJ，重复频率可达1MHz，激光器内置式全自动软件可切换倍频器，功率稳定性：＜0.5% rms over 100 hours；输出脉冲间稳定性：≤0.5% rms over 24 hours，光束指向稳定性：＜20μrad/℃。 3. 系统需同时支持3d打印和改性蚀刻应用；微纳打印实现百纳米以下的特征尺度，激光改性轻易达到10nm以下的线宽，激光蚀刻可达1um以下的特征精度。 |
****000.00 | 2025-03 |
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