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深圳医学科学院电子束蒸发系统意向公开
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****电子束蒸发系统意向公开
| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 电子束蒸发系统 |
| 预算金额（元）: | 4,000,000.000 |
| 采购品目: | 真空应用设备 |
| 采购需求概况: | 名称：电子束蒸发系统 主要功能：高纯度和均匀涂层:无油泵送系统具有至少1x10^-7托的基压和样品负载锁，可产生高纯度和极佳均匀性的薄膜，能够精确控制薄膜厚度，这对于多层涂料和纳米技术应用至关重要。 采购数量：1台 质量要求： 1.不锈钢真空腔室和真空锁。 2.可处理最大直径达 150 毫米的晶圆，且能够同时处理五（5）片 75 毫米的晶圆或三（3）片 100 毫米的晶圆。 3.配有挡板的四至六个独立的沉积源。 4.样品基板冷却功能。 5.样品晶圆真空锁。 6.无油抽气系统；本底压力至少为 1×10托。 服务要求： 1.安装与培训调试： 供应商需提供专业的安装调试服务，提供全面的操作培训和维护培训，确保设备正常运行。 2.售后服务： 提供至少3年免费保修服务。 保修期内免费提供维修和更换服务。 提供24小时技术支持热线，快速响应故障报修。 安全要求：设备需符合相关国标电器安全标准（如CE认证）。 时限要求：合同签订后6个月内完成交货。 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | 0755-****0028 |
| 预计采购时间: | 2025-04 |
| 备注: | 无 |
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2025-02-27
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