深圳医学科学院紫外掩膜光刻机意向公开

发布时间: 2025年02月27日
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****紫外掩膜光刻机意向公开
采购单位: ****
项目名称: 紫外掩膜光刻机
预算金额(元): 3,650,000.000
采购品目: 其他光学仪器
采购需求概况: 名称:紫外掩膜光刻机
主要功能:手动与半自动掩膜对齐器系统;支持多材料和尺寸,微米分辨率光刻技术。
采购数量:1台
质量要求:
1.基板尺寸最大可达 150 毫米。
2.具备顶面和底面校准功能,以及红外校准功能。
3.掩模与晶圆对准以及晶圆与晶圆对准。
4.接触式曝光和接近式曝光。
5.可减少衍射的光学元件。
服务要求:
1.安装与培训调试:
供应商需提供专业的安装调试服务,提供全面的操作培训和维护培训,
确保设备正常运行。
2.售后服务:
提供至少3年免费保修服务。
保修期内免费提供维修和更换服务。
提供24小时技术支持热线,快速响应故障报修。
安全要求:设备需符合相关国标电器安全标准(如CE认证)。
时限要求:合同签订后6个月内完成交货。
联系人: 张老师
联系电话: 0755-****0028
预计采购时间: 2025-04
备注:
招标进度跟踪
2025-02-27
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