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光源掩模协同优化仿真平台
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***********公司企业信息
****2025年7至9月政府采购意向-光源掩模协同优化仿真平台 详细情况
| 光源掩模协同优化仿真平台 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 光源掩模协同优化仿真平台 |
| 预算金额： | 650.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0302-支撑软件
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| 采购需求概况 ： |
1.在光学薄掩模模型下优化的自由光源相较于标准光源D0F@5%有显著改善； 2.与严格仿真工具的结果对比，对于28mm节点典型测试图形，CD误差RMS满足业界标准要求； 3.支持自定义流程的光源掩模优化； 4.具备28mm 0PC功能； 5.支持光刻图形层的布尔运算；支持多边形几何操作；支持边的选取和偏移操作；支持28nm节点下典型图形retarget操作
|
| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-02-28
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