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低损磁控溅射镀膜仪
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1500000.00
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相关单位：
***********公司企业信息
****2025年4月政府采购意向-低损磁控溅射镀膜仪 详细情况
| 低损磁控溅射镀膜仪 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 低损磁控溅射镀膜仪 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
|
| 采购需求概况 ： |
低损磁控溅射镀膜仪 基片盘大小：均匀区域300mm*400mm。加热温度：室温-300℃，向下兼容，旋转速度0-30转/分钟可调 低损伤，宽靶面刻蚀，减少靶面打火，阴极冷却主动报警装置，降低阴极烧毁风险，优化阴极冷却系统。 膜厚均匀性：作压强(溅射):0.1～100 Pa，溅射不均匀性≤±5％
|
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-06-06
2025-05-16
2025-03-03
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