首页 /微波等离子体CVD供气系统（BX20250016号）采购公告

微波等离子体CVD供气系统（BX20250016号）采购公告

公告-招标公告

福建 -厦门

发布时间： 2025年03月03日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

微波等离子采购公告

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

微波等离子体CVD供气系统	****
2025-03-03 17:19:44	2025-03-06 17:00:00
****	货到验收合格后付100%

	签约后15个工作日内
￥96000.00




****
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

微波等离子体CVD供气系统

套

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

ROTAREX

定制

￥ 96000.00

本项目是优普莱UP-510型微波等离子体化学气相沉积机（MPCVD）专用的特气供气系统，包括甲烷（CH4）、氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、氩气（Ar）、压缩空气（CDA）总计6路高纯气体。主要功能要求如下：（1）甲烷气体采用高品质防爆柜（钢板厚度不低于2.5mm），双瓶供气，可自动切换供气，设置气体泄露报警系统，可以自动关闭气路和联动防爆排风；（2）氢气气体采用高品质防爆柜（钢板厚度不低于2.5mm），4瓶50升钢瓶供气，可双瓶自动切换供气，设置气体泄露报警系统，可自动关闭气路和联动防爆排风；（3）氧气、氮气、氩气、压缩空气等采用现有的气路对接进入设备；（4）氢气、甲烷和氧气采用EP级316L不锈钢管道，并桥架施工；（5）所有的接头均采用VCR套件。具体参数及功能要求见附件。

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:五年;