深圳大学电子束曝光机意向公开

发布时间: 2025年03月04日
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****电子束曝光机意向公开
采购单位: ****
项目名称: 电子束曝光机
预算金额(元): 4,800,000.000
采购品目: 教学仪器
采购需求概况: 电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用,使胶由长(短)链变成断(长)链,实现曝光,相比于光刻机具有更高的分辨率,主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究。
预计采购时间: 2025-3
联系人: 陈老师
联系电话: 132****1106
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招标进度跟踪
2025-03-04
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