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天津大学 - 竞价结果公告（CB100562022001448）
招标详情
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**** - 竞价结果公告（****）
发布时间：2025-03-04 14:19:22
申购单号： ****
申购主题： RIE反应离子刻蚀机
采购单位： ****
竞价开始时间： 2022-12-12 19:02:51
竞价截至时间： 2022-12-13 19:12:48
币种： 人民币
付款方式： 货到验收合格后付款
备注说明： 22DK100952
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 198000.00
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| RIE反应离子刻蚀机 | 无 | 198000.00 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | 型号：RIE200plus PLC工控机控制，7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化操作界面显示，自动监测工艺参数状态，0~99配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。 手动、自动两种工作模式。全真空管路系统采用316不锈钢材质。 采用防腐数字流量计控制，标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。 具备HEPA高效过滤气体返填吹扫功能。 人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面**。 316不锈钢、航空铝真空仓选择。 采用顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式。上置式360度水平取放样品设计。 最大处理直径200mm晶元硅片。 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。 舱体内尺寸：H38xΦ260mm。 舱体容积：2L。 射频电源：13.56MHz，射频功率10-300W**可调。 电极：不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm。 自动匹配器。 RIE刻蚀方式。 气体控制：质量流量计（MFC）（标配双路，可选多路）流量范围0-500SCCM（可调）。 工艺气体选择：Ar、N、O、H、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等（可选）。 时间设定1-99分59秒。真空泵：Edwards爱德华真空泵 RV3双级旋片泵，抽速：8m3/h，极限真空≤1Pa。 气体稳定时间：1分钟 | 1.0 | RIE200plus | 198000.00 | **** |
招标进度跟踪
2025-03-04
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