高分辨专用镀膜仪

专业领域：电子元器件,先进材料与制造,可靠性/测试性/维修性,其他

询价公告

1 项目名称：_高分辨专用镀膜仪__

2 项目编号：__****____

3 项目概况：

3.1 项目内容：__高分辨专用镀膜仪__

3.2采购清单及技术要求：

一、技术要求

1.采购内容★：

Quorum Q150R ES Plus型高分辨率镀膜仪一台。

2.技术指标★：

2.1 溅射原理：采用低温增强等离子磁控管设计，利用低压低电流直流磁控冷溅射，有效降低溅射热效应对样品的损伤；

2.2 溅射镀膜电流：覆盖范围不小于1-150mA，连续可调，调节步径≤1 mA；

2.3可设定镀膜时间范围：覆盖不小于1-3600秒，连续可调，调节步径≤1秒；

2.4 溅射工作真空范围：覆盖不小于7 ×10-3 到5 × 10-1mbar；

2.5 溅射靶材：靶材尺寸≥φ57mm，采用磁控冷溅射环境，精细颗粒镀膜，标配高分辨率铬靶一块；

2.6 一体化镀碳模块：采用蒸发镀碳方式，蒸发电流范围不小于1~70A；

2.7 同时具备脉冲蒸发和斜坡蒸发两种镀碳方式，优化斜坡蒸发发生能够实现自动除气、预蒸发、自动打开挡板及真正线性可控镀膜，精准控制镀膜厚度，达到设定要求挡板自动关闭；

2.8 具备脉冲清洁功能，能够实现铝金属及各类易氧化金属镀膜；

2.9 真空系统：配备旋转机械泵+不小于70L/s分子泵；

2.10 镀膜腔室：采用可方便清洁圆柱形腔室，可整体拆卸，并配备防爆塑料保护装置及镀膜挡板；

2.11 配备不少于两种腔室：标准工作腔室尺寸≥150mm（内径）×127mm（高）及150mm（内径）×214mm（高）热敏感样品镀膜专用腔室；

2.12 镀膜样品台：配备直径≥50mm六孔旋转样品台，转速调节范围不小于10-20rpm，工作距离调节范围不小于38-70mm，保证优异的镀膜均匀性；

2.13 采用电容式触摸屏控制，配备双核ARM处理器及不低于16GB的闪存，可储存和调用不少于1000条镀膜程序及1000条以上镀膜记录；

2.14 自动化提醒装置：配备镀膜操作帮助页面及维护提醒功能，镀膜过程具有不同颜色灯光提示镀膜进程，完成镀膜后具有音频声音提示；

2.15 配备真空互锁装置，真空无法达到自动切断镀膜源的电源，确保用户在放样取样时安全；

2.16 配备电气安全保护模块，电源顶盖打开时，电气联锁装置断电，保护操作人员安全；

2.17 具备过热保护功能，温度过热自动关闭电源，有效增加设备使用寿命。

注：若公告内容与第三章技术要求内容不一致，以第三章技术要求为准。

特别提醒：因项目需求特殊，需指定Quorum Q150R ES Plus型高分辨率镀膜仪。

3.3最高限价：__57__万元。

3.4交货地点：由采购方指定；

4 合格的供应商

4.1供应商资质要求

（1）具有独立承担民事责任的能力，在中华人民**国注册并合法运营，且为非外资独资或外资控股的企（事）业单位/无外资参股背景；法定代表人（含实际控制人）不得为非中华人民**国国籍或具有境外永久居留权（含港澳台）；

（2）供应商单位负责人为同一人或者存在控股、管理或其他利害关系的不同供应商，不得同时参加同一包（标）的采购活动。生产场地为同一地址的，一律视为有直接控股、管理关系。供应商之间有上述关系的，应主动声明，否则将给予列入不良记录名单；

（3）具有健全的财务会计制度；

（4）具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（5）近三年在经营活动中无重大违法记录；

（6）不得为“信用中国”网站（www.****.cn）中列入失信被执行人和重大税收违法失信主体的供应商；

（7）不在军队装****政府采购****政府采购或装备采购活动的处罚期内；未被军队装****政府采购主管部门列入禁止参加采购活动黑名单；

（8）符合国家、军队法律和法规规定的其他条件；

（9****公司或其他组织应答；

（10）本项目不接受联合体应答；

4.2供应商应当提供资质证明

（1****事业单位****银行****银行资信证明仅适用于军队单位）；

（2）提供法定代表人有效身份证明（提供法人证书或证明材料、身份证复印件）；

（3）提供委托代理人的有效身份证明（提供《法定代表人授权委托书》原件、法人身份证复印件、委托代理人身份证复印件）；

（4）提供第三方专业机构出具的2023年度完整审计报告正文复印件，需包括资产负债表，利润表，现金流量表相关内容；

（5）提供近一年（以询价时间为准）任意1个月本单位缴纳税收的证明材料复印件；

（6）提供近一年（以询价时间为准）任意1个月本单位缴纳社会保险的凭据复印件（专用收据或社会保险缴纳清单）；

特别提醒：

注：

① 上述所有证明材料需备有原件，采购方在评标结束后将视情对供应商提供材料真实性予以审查；

② 事业单位或公办高校若无法提供上述（4）、（5）、（6）项内容要求提供的材料，须提供执行国家有关财务、价格等管理制度，接受财税、审计部门的监督的承诺函（书面声明，格式自拟）；

③ 除事业单位和公办高校外，确实无法提供第（4）项内容要求提供的材料，可以提****银行****银行）近三个月内（以询价时间为准）出具的资信证明复印件，但需额外提供有效证明其为****银行是其基本账户开户行的相关佐证材料；

④ 若法人直接参与投标可以不提供第（3）项内容要求提供的材料；

⑤ 存在其他特殊情况的无法提供上述内容要求的材料的，需提供相应情况说明或佐证材料，其有效性由评审专家和采购方最终认定；

4.3供应商应当作出以下声明和承诺

（1）提供不得为外资独资或外资控股的企（事）业单位/不得有外资参股背景，及法定代表人（含实际控制人）不得为非中华人民**国国籍或具有境外永久居留权（含港澳台）的承诺书或证明材料（书面声明）；

（2）提供近三年内在经营活动中无重大违法记录的书面声明材料，若成立不足要求年限则提供成立以来无重大违法记录书面声明材料（书面声明）；

（3）提供不在军队装****政府采购****政府采购或装备采购活动的处罚期内，未被军队装****政府采购主管部门列入禁止参加采购活动黑名单书面声明材料（书面声明）；

（4）提供非联合体应答书面声明材料（书面声明）；

（5）提供保密承诺书（书面声明）；

5 询价公告、询价文件发售与应答文件递交：标书代写

5.1公告时间、发售时间、地点、和发售方式：

（1）公告时间：公告见网至2025年3月17日；

（2）发售时间：至2025年3月17日（**时间，上午9:00-11：30，下午14:00-17:00，节假日除外）；

（3）发售地点：**市**区；

（4）发售方式：现场发售或其他方式。

（5）售价：人民币0元/份。

5.2 应答文件的拟制：

供应商应当参照询价文件第四章拟制询价文件，询价文件中需包括以下内容：

（1）第4.2条中列出的全部资质证明文件；

（2）第4.3条中涉及的书面声明和保密承诺书（模板见询价文件第四章）

5.3 应答文件递交时间、地点、方式：标书代写

（1）应答文件递交截止时间：2025年3月21日9时00分（**时间）。如有变更，另行通知。标书代写

（2）应答文件递交地点：**市**区；标书代写

（3）应答方式：指定专人递交应答文件或其他方式。

6 询价时间、地点

6.1 询价时间：2025年3月21日9时00分（**时间）。如有变更，另行通知。

6.2 询价地点：**市**区；

7 信息发布媒体：

全军武器装备采购信息网（www.****.cn）

8 联系方法：

采购人：****

联系人：王工

电话：__029-****7309___

邮箱：****@163.com___