特殊气体供气系统

A****2402真空应用设备

采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。 特气供气系统： A、全自动气柜GC-18台 1.PLC全自动控制（自动切换、自动吹扫、抽真空等） 2.双钢瓶，含钢瓶接头 3.1/4“盘面，配置吹扫，电子秤 B、全自动气架GR-12台 1.PLC全自动控制（自动切换、自动吹扫、抽真空等） 2.双钢瓶，含钢瓶接头 3.1/4“盘面，配置吹扫，电子秤 C、阀门分配箱VMB-30台 1. 半自动控制 2. 主管：手动阀+PT+扩充阀 3. 支路：手动阀+调压阀+PG+气动阀 4.一进四出,3/8 #34;进x1/4 #34;出 D、阀门分配面板VMP-15台 1. 手动控制 2. 主管：手动阀+PG+扩充阀 3. 支路：手动阀+调压阀+PG+手动阀 4.一进四出,3/8 #34;进x1/4 #34;出 E、气体泄漏侦测侦系统 电化学式侦测器-200颗 1.电化学原理 2.泵吸工作方式 F、气体Vent处理器 G、等离子水洗尾气处理设备-2台： 1.处理容量：600LPM； 2.处理气体种类有：CHF3、SF6、DCS、NF3、NH3、CH2F2、CH4、SIH4、N2、CF4、N2O等； H、干式吸附尾气处理设备-2台： 1.吸附剂容量：100L； 2.处理气体种类：CL2、HBR、F2/KR/NE等； I、加热水洗式尾气处理设备-2台： 1.处理量≥600slpm； 2.不需要接工艺冷却水冷却，全自动控制，配置循环水泵，重力排水。