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福州大学真空镀膜机等设备采购项目

福建 -福州

发布时间： 2025年03月14日

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大学镀膜机设备采购

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***********公司企业信息

****2025年03月至2025年04月政府采购意向-****真空镀膜机等设备采购项目详细情况

****真空镀膜机等设备采购项目
项目所在采购意向：	****2025年03月至2025年04月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	****真空镀膜机等设备采购项目
预算金额：	240.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	采购内容:其他仪器仪表采购数量:1.0000套主要功能或目标:1、可在特定基板上蒸发沉积金属薄膜、有机薄膜、非金属薄膜以达到改善材料性能、保护材料表面和实现其他功能的目的，用于制备新型显示照明、半导体光电子等器件的电极和其他功能膜层的制备。2、用于科研项目执行中所需高均匀性、高附着力的金属膜、氧化物非金属膜、化合物膜、复合膜等薄膜功能材料的制备。需满足的要求:1、基板最大支持 8 英寸晶圆；最大加热温度≥350℃；配置电子束蒸发源、离子源；真空性能：极限压力：≤3.0×10-5(Pa)；压力上升：≤5.0×10-6(Pam3/sec)；2、基板最大支持 8 英寸晶圆；支持多片式连续沉膜生长；靶材/基板距离可调：60～180mm；可溅射铝、钼、银、氧化物靶材单膜或多靶材共溅射，４个靶位；
预计采购时间：	2025-04
备注：	无