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| 等离子清洗机 | 华仪行 | 41810.00 | 按行业标准提供服务 | 1.主要应用于样品表面清洁、活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、表面有机物去除、疏水实验、镀膜前处理等,免维护,无需任何耗材。 2.PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。 3.HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。 *4.7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。 5.单路气体控制。流量范围0-1000sccm。 6.真空压力传感器采用进口品牌霍尼韦尔(Honeywe11)。 7.气体浮子流量计采用进口品牌德威尔(Dwyer),流量控制准确。 8.石英真空舱,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。 9.电感式等离子激发方式。10.自动匹配器。 11.采用 60度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方便,界面**。 12.舱体尺寸155x200mm。 *13.舱体容积 3.8L。 *14.射频频率13.56MHz,射频功率0-150W**可调,工作功率10-150W。 15.时间设定0-99分59 秒。16.气体稳定时间﹒1分钟。 17.真空度要求 100pa以内,可预设真空0-100pa,精确度1pa。 18.电源 220V﹒50/60hz,电流1.2A。 19.外形尺寸460X580X285mm(LxWxH),整机重量15Kg。 20.真空泵抽气速率4m/小时,极限真空0.05Pa,进排气连接口KF16/25。 | 1.0台/套 | CPC-E-plus电感 | 41810.00 | **** |