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| 申购单主题: | ****等离子体CVD纳米材料生长系统 | 申购单位: | ********学院) | 申购人: | 郑新国 |
| 报价类型: | 国内含税价 | 使用币种: | 人民币 | 公示时间: | 2025-03-18 11:16:43 |
| 申购备注: | |||||
| **** 等离子体CVD纳米材料生长系统 | ****公司 | ICPCVD-100 | 1 | 更换真空泵系统,达到高真空度。 1,机械泵: a)抽速6.1m3/h b)关气镇极限压强0.02mbar c)水蒸气处理量100g/h 2,分子泵: a)抽速90L/s b)压缩比1x1011 c)进气口DN63CF,排气口DN16KF d)极限真空度5x10-9mbar 3,离子泵 a)抽速200L/s b)启动压力≤1x10-3mbar 4,真空计 a)测量范围1000mbar—1x10-9mbar b)DN40 CF接口 |
| **** | 180000.0 |